Trden fokusni obroč iz silicijevega karbida

Obroč za fokusiranje iz trdnega silicijevega karbida Veteksemicon je ključna komponenta v proizvodnji polprevodnikov, ki je strateško nameščen zunaj rezine, da ohranja neposreden stik. Z uporabo uporabljene napetosti ta obroč fokusira plazmo, ki prečka njega, in tako izboljša enakomernost postopka na rezini. Izdelan izključno iz silicijevega karbida s kemičnim naparjevanjem (CVD SiC), ta fokusni obroč uteleša izjemne lastnosti, ki jih zahteva industrija polprevodnikov. V podjetju Veteksemicon smo predani izdelavi in ​​dobavi visoko zmogljivih fokusirnih obročev iz trdnega silicijevega karbida, ki združujejo vrhunsko kakovost s stroškovno učinkovitostjo.

Prednosti izdelka

V primerjavi s tradicionalnoFokusni obroči iz silicija (Si) ali sintranega silicijevega karbida (Sintered SiC), naš izdelek odlikujejo ključne dimenzije:

Predvsem prevodnost in odpornost silicijevega karbida na ionsko jedkanje sta zelo podobni siliciju, kar zagotavlja združljivost z obstoječimi postopki izdelave polprevodnikov, hkrati pa zagotavlja izboljšano zmogljivost – zaradi česar je fokusni obroč iz trdnega silicijevega karbida Veteksemicon idealna izbira materiala za to kritično aplikacijo.

Obroč za fokusiranje iz trdnega silicijevega karbida Veteksemicon predstavlja najsodobnejšo rešitev na področju proizvodnje polprevodnikov. V celoti izkorišča edinstvene materialne prednosti  CVD SiC za omogočanje zanesljivih, visoko natančnih in visoko učinkovitih procesov jedkanja, kar znatno prispeva k napredku polprevodniške tehnologije naslednje generacije.