Osredotočenost na jedkanje

Monokristalni obroči za silicijevo jedkanje so bistvene sestavine v procesih jedkanja polprevodnikov z ohranjanjem stabilnosti v plazmi, zaščito opreme in rezin, optimizacijo uporabe virov in prilagajanjem naprednim zahtevam procesa. Njegova zmogljivost neposredno vpliva na donos in stroške proizvodnje čipov.

Jedrni fokusni obroč, elektroda itd. (Robni temperaturni regulator) so jedrski potrošni material, da se zagotovi enakomernost plazme, nadzor temperature in ponovljivost procesov. Te komponente so natančno sestavljene v vakuumski komori KVB, jedkanci in filmski opremi ter neposredno določajo natančnost in donos jedkanja od roba do središča rezine.

Kot odgovor na strogo povpraševanje po materialnih lastnostih v proizvodnih procesih višjega cenovnega razreda, Veeksemi inovira z uporabo monokristalnega silicija z visoko čistočo z uporom 10-20Ω · cm za izdelavo fokusnih obročev in podpore potrošnim materialom. S sodelovalno optimizacijo materialnih znanosti, električnega oblikovanja in termodinamike lahko Veekemi izdeluje fokusne obroče in podpira potrošni material. Izčrpno presegajo tradicionalne kremenčeve rešitve za doseganje preboja izboljšav dolgoživosti, natančnosti in stroškovne učinkovitosti.

Primerjava osnovnega materiala in optimizacija upora

Monokristalni silicij Vs. Kremen

Izdelek Core Advantage

1. natančnost procesa atomske ravni

Optimizacija upornosti + ultra natančno poliranje (RA <0,1 μm) odpravlja mikro odvajanje in kontaminacijo z delci, da se izpolnjuje s standardi pol F47.

Dielektrična izguba (TanΔ <0,001) se močno ujema z dielektričnim okoljem rezin, pri čemer se izogne ​​izkrivljanju električnega polja in podpira 3D NAND 89,5 ° ° ± 0,3 ° navpične globoke luknje.

2. Združljivost inteligentnega sistema

Vgrajen z modulom za krmiljenje temperature ETC, se pretok hladilnega zraka dinamično prilagodi s termoelementi in algoritmom AI, da kompenzira toplotno komoro.

Podprite prilagojeno RF ujemajoče se omrežje, primerno za glavne stroje, kot so AMAT CENTURA, LAM Research Kiyo in ICP/CCP plazemski viri.

3. Celovita stroškovno učinkovitost

Življenje monokristalnega silicija je 275% daljše od življenja kremen, vzdrževalni cikel je več kot 3000 ur, celoviti stroški lastništva (TCO) pa se zmanjšajo za 30%.

Storitev prilagajanja gradienta upora (5-100Ω · cm), ki natančno ustreza oknu procesa stranke (na primer GAN/SIC široko pasovno vrzel jedkanico).

Učinek upornosti

Komercialni izrazi izdelkov

Minimalna količina naročila	1 komplet
Cena	Kontaktirajte za prilagojeno ponudbo
Podrobnosti o embalaži	Standardni izvozni paket
Čas dostave	Čas dostave: 30-35 dni po potrditvi naročila
Plačilni pogoji	T/t
Sposobnost oskrbe	600 kompletov/mesec