Polprevodniški kremenčev zvonec

ČeveljPolprevodnikKremen zvonecIgra več ključnih vlog pri obdelavi polprevodnikov. the Vakuumski sistem zvončkovne zagotavlja le stabilnega in nadzorovanega reakcijskega okolja, temveč zagotavlja tudi učinkovitost in natančnost različnih procesov s svojo odlično toplotno stabilnostjo, kemično inertnostjo in optično preglednostjo. Te značilnosti tudi določajoBell Vacuum komoraje nepogrešljiv komponentni izdelek v procesu izdelave polprevodnikov.

SemenaPolprevodniški kremen Ustvari zapečateno procesno okolje, ki omogoča, da se procesne pline enakomerno porazdelijo in reagirajo s površino rezin v nadzorovanih pogojih. Torej,Polprevodniški kvarčni zvončekObičajno se uporablja v procesih, kot so CVD, difuzija in oksidacija za natančno nadzor sestave in tlaka atmosfere, s čimer zagotavlja enakomernost filma in čistost materiala.

Hkrati imajo kremenovi materiali odlično toplotno stabilnost, visoko temperaturno odpornost (visoko temperaturno okolje pri predelavi polprevodnikov je običajno kar 1000 ° C ali več) in značilnosti izdelka za vzdrževanje stabilne oblike in velikosti med ogrevanjem in hlajenjem. To določa, daKremen zvoneclahko v celoti zagotovi enakomernost površinske temperature rezin v visokotemperaturnem okolju difuzije in oksidacije, s čimer izboljša kakovost in enakomernost nanesene ali razpršene plasti.

Še pomembneje,SemenaSemiconductor kremen visoke čistosti ni enostavno reagirati s procesnimi plini v visokotemperaturnih okoljih in ima močno odpornost proti koroziji. Ta značilnost izdelka določa, da v procesih, ki uporabljajo korozivne pline (kot so nekateri postopki CVD),Polprevodniški kvarčni zvončeklahko v celoti vzdržuje kemično stabilnost in se izognemo kontaminaciji polprevodniških naprav.

VeTek SemiconductorKremen zvonec:

Pregled verige industrije epitaksije polprevodniških čipov: