Porozni silikonski karbid (sic) keramični krožniki: visokozmogljivi materiali v proizvodnji polprevodnikov

Ⅰ. Kaj je porozni sic keramični krožnik?

Porozna keramična plošča iz silicijevega karbida je porozni konstrukcijski keramični material iz silicijevega karbida (sic) s posebnimi procesi (kot so penanje, 3D tiskanje ali dodajanje sredstev za oblikovanje por). Njegove temeljne značilnosti vključujejo:

● Nadzorovana poroznost: 30% -70% nastavljivo, da zadovolji potrebe različnih scenarijev uporabe.

● Enotna porazdelitev velikosti por: Zagotovite stabilnost prenosa plina/tekočine.

● Lahka zasnova: Zmanjšajte porabo energije opreme in izboljšati učinkovitost poslovanja.

Ⅱ. Fizične lastnosti Five Core in uporabniška vrednost poroznih sic keramičnih krožnikov

1. visoka temperaturna odpornost in toplotno upravljanje (predvsem za reševanje problema toplotne okvare opreme)

● Ekstremna temperaturna odpornost: Nenehna delovna temperatura doseže 1600 ° C (30% višja od keramike glinice).

● Termična prevodnost visoke učinkovitosti: Koeficient toplotne prevodnosti je 120 w/(m · K), hitro odvajanje toplote ščiti občutljive komponente.

● Ultra nizka toplotna ekspanzija: Koeficient toplotne ekspanzije je le 4,0 × 10⁻⁶/° C, primeren za delovanje pri ekstremni visoki temperaturi, ki se učinkovito izogne ​​visoki temperaturni deformaciji.

2. Kemična stabilnost (zmanjšanje stroškov vzdrževanja v korozivnih okoljih)

● Odporen na močne kisline in alkalije: zdrži korozivne medije, kot sta HF in H₂SO₄

● Odporen na plazemsko erozijo: Življenjska oprema v opremi za suho jedkanje se poveča za več kot 3 -krat

3. Mehanska trdnost (razširitev življenjske dobe)

● Visoka trdota: MOHS trdota je kar 9,2, odpornost proti obrabi pa je boljša od nerjavečega jekla

● Upogibna moč: 300-400 MPA, ki podpira rezine brez upogibanja

4. Funkcionalizacija poroznih struktur (izboljšanje donosa procesa)

● Enotna porazdelitev plina: Enotnost procesnega filma CVD se poveča na 98%.

● Natančen adsorpcijski nadzor: Natančnost pozicioniranja elektrostatičnega chucka (ESC) je ± 0,01 mm.

5. jamstvo za čistočo (v skladu s standardi polprevodnikov)

● Kontaminacija z ničelno kovino: čistost> 99,99%, izogibanje kontaminaciji rezin

● Lastno očiščene značilnosti: mikroporozna struktura zmanjšuje odlaganje delcev

Iii. Štiri ključne uporabe poroznih sic plošč v proizvodnji polprevodnikov

Scenarij 1: visokotemperaturna procesna oprema (difuzijska peč/žarjenje peči)

● Točka bolečine v uporabniku: Tradicionalni materiali se zlahka deformirajo, kar ima za posledico odstranjevanje rezin

● Rešitev: Kot nosilna plošča deluje stabilno pod 1200 ° C

● Primerjava podatkov: Toplotna deformacija je 80% nižja kot pri glinici

Scenarij 2: Kemična odlaganje hlapov (CVD)

● Točka bolečine v uporabniku: Neenakomerna porazdelitev plina vpliva na kakovost filma

● Rešitev: Porozna struktura naredi enotnost difuzije reakcijskega plina 95%

● Primer industrije: Uporablja se na 3d nanašanje Flash pomnilnika Thin Film

Scenarij 3: Oprema za suho jedkanje

● Točka bolečine v uporabniku: Erozija plazmeRTENS COMPONENT Life

● Rešitev: Učinkovitost proti plazmi razširja vzdrževalni cikel na 12 mesecev

● stroškovno učinkovitost: Izpad opreme se zmanjšuje za 40%

Scenarij 4: sistem čiščenja rezin

● Točka bolečine v uporabniku: Pogosta zamenjava delov zaradi kisline in alkalijske korozije

● Rešitev: Odpornost na HF kisline naredi življenjsko dobo več kot 5 let

● Podatki o preverjanju: Stopnja zadrževanja moči> 90% po 1000 čistilnih ciklih

Iv. 3 glavne izbirne prednosti v primerjavi s tradicionalnimi materiali

V. Pogosta vprašanja za uporabnike industrije

V1: Ali je porozna sic keramična plošča primerna za proizvodnjo naprav Gallium nitrid (GaN)?

Odgovor: Da, njegova visoka temperaturna odpornost in visoka toplotna prevodnost sta še posebej primerna za proces rasti Epitaxial GAN ​​in sta bila uporabljena za proizvodnjo 5G baznih postaj.

V2: Kako izbrati parameter poroznosti?

Odgovor: Izberite v skladu s scenarijem aplikacije:

● Distribucijski plintion: Priporočljivo je 40% -50% odprte poroznosti

● Vakuumska adsorpcija: Priporočljivo je 60% -70% visoka poroznost

V3: Kakšna je razlika z drugo keramiko iz silicijevega karbida?

Odgovor: V primerjavi z gostoSic keramika, porozne strukture imajo naslednje prednosti:

● 50 -odstotno zmanjšanje teže

● 20 -krat povečanje posebne površine

● 30% zmanjšanje toplotnega napetosti