Novice o industriji

Kremenčevi materiali visoke čistosti igrajo ključno vlogo v industriji polprevodnikov. Zaradi svoje vrhunske odpornosti na visoke temperature, odpornosti proti koroziji, toplotne stabilnosti in lastnosti prepustnosti svetlobe so kritični potrošni materiali. Izdelki iz kremena se uporabljajo za komponente v visokotemperaturnih in nizkotemperaturnih conah proizvodnje rezin, kar zagotavlja stabilnost in čistočo proizvodnega procesa.

Z globalnim energetskim prehodom, revolucijo umetne inteligence in valom informacijskih tehnologij nove generacije je silicijev karbid (SiC) zaradi svojih izjemnih fizikalnih lastnosti hitro napredoval iz "potencialnega materiala" v "strateški temeljni material".

V polprevodniških visokotemperaturnih procesih so ravnanje, podpora in toplotna obdelava rezin odvisni od posebne podporne komponente – čolna za rezine. Ko se procesne temperature dvignejo in se povečajo zahteve glede čistoče in delcev, tradicionalni čolni iz kremenčevih rezin postopoma razkrivajo težave, kot so kratka življenjska doba, visoke stopnje deformacij in slaba odpornost proti koroziji.

Pri proizvodnji substratov iz silicijevega karbida v industrijskem obsegu uspeh ene same rasti ni končni cilj. Pravi izziv je zagotoviti, da kristali, pridelani v različnih serijah, orodjih in časovnih obdobjih, ohranijo visoko raven doslednosti in ponovljivosti kakovosti. V tem kontekstu vloga prevleke iz tantalovega karbida (TaC) presega osnovno zaščito – postane ključni dejavnik pri stabilizaciji procesnega okna in varovanju izkoristka izdelka.

​Rast silicijevega karbida (SiC) PVT vključuje hudo toplotno kroženje (sobna temperatura nad 2200 ℃). Ogromen toplotni stres, ki nastane med prevleko in grafitno podlago zaradi neusklajenosti koeficientov toplotnega raztezanja (CTE), je glavni izziv, ki določa življenjsko dobo prevleke in zanesljivost nanosa.

V procesu rasti kristalov silicijevega karbida (SiC) PVT stabilnost in enakomernost toplotnega polja neposredno določata hitrost rasti kristalov, gostoto napak in enotnost materiala. Kot meja sistema imajo komponente toplotnega polja površinske termofizične lastnosti, katerih rahla nihanja se dramatično povečajo v pogojih visoke temperature, kar na koncu vodi do nestabilnosti na vmesniku rasti.