Novice

Quartz Boat je ključna komponenta, ki nosi obremenitev, ki se uporablja v postopku izdelave polprevodnikov. Uporablja se predvsem za visokotemperaturno predelavo rezin, kot so difuzija, oksidacija in žarjenje. Njegova odlična toplotna stabilnost, nizke značilnosti onesnaževanja in korozijska odpornost omogočajo nepogrešljiv material v industriji polprevodnikov. Ta članek bo opremljen o materialih, fizičnih lastnostih, klasifikaciji, scenarijih uporabe Quartz Boat in njegovih razlik od PECVD Graphite Boat.

Osrednji material PECVD grafitnega čolna je izotropni grafitni material z visoko čistostjo (čistost je običajno ≥99,999%), ki ima odlično električno prevodnost, toplotno prevodnost in gostoto. V primerjavi z navadnimi grafitnimi čolni imajo PECVD grafitni čolni številne fizične in kemijske lastnosti in se uporabljajo predvsem v polprevodniški in fotovoltaični industriji, zlasti v procesih PECVD in CVD.

MOCVD grafitni pladnji igrajo pomembno vlogo v epitaksialnem procesu. V tem članku je podrobno analizo izbire MOCVD grafitnih pladnjev iz perspektive materialnih lastnosti in scenarijev uporabe.