Kakšna je posebna uporaba delov, prevlečenih s TAC, v polprevodniškem polju?

Fizikalne lastnosti prevleke Tantalum karbide (TAC)

Uporaba prevleke Tantalum karbida (TAC) v polprevodniškem polju

1. komponente reaktorja epitaksialnega rastnega reaktorja

Tac prevleka se pogosto uporablja v komponentah reaktorja za kemično odlaganje hlapov (CVD) epitaksialnega in silicijevega karbida (SIC) epitaksialnega, vključno z epitaksialnimiNosilci rezin, satelitske jedi, šobe in senzorji. Te komponente zahtevajo izjemno visoko vzdržljivost in stabilnost v visoki temperaturi in jedko okolju. Tac prevleka lahko učinkovito podaljša življenjsko dobo storitev in izboljša donos.

2. enojna komponenta za rast kristalov

V procesu posameznih kristalnih rasti materialov, kot so SIC, GAN in Aluminijevi nitrid (AIN),Tac prevlekase uporablja za ključne komponente, kot so lončki, držala za kristal semen, vodilni obroči in filtri. Grafitni materiali s TAC prevleko lahko zmanjšajo migracijo nečistoč, izboljšajo kakovost kristalov in zmanjšajo gostoto napak.

3. visokotemperaturne industrijske komponente

Tac prevleka se lahko uporablja v visokotemperaturnih industrijskih aplikacijah, kot so uporovni ogrevalni elementi, vbrizgalne šobe, zaščitni obroči in drzne napeljave. Te komponente morajo ohraniti dobro delovanje v visokotemperaturnih okoljih, TAC-ova toplotna odpornost in korozijska odpornost pa sta idealna izbira.

4. grelniki v sistemih MOCVD

Grafitni grelniki, prevlečeni s TAC, so bili uspešno uvedeni v sistemih kovinskih organskih kemičnih hlapov (MOCVD). V primerjavi s tradicionalnimi grelniki, prevlečeni s PBN, lahko TAC grelniki zagotovijo boljšo učinkovitost in enakomernost, zmanjšajo porabo energije in zmanjšajo površinsko emisijo, s čimer se izboljšajo celovitost.

5. Prevozniki rezin

Nosilci rezin, prevlečenih s TAC, igrajo pomembno vlogo pri pripravi polprevodniških materialov tretje generacije, kot so SIC, AIN in GAN. Študije so pokazale, da je stopnja korozijeTAC prevlekev visokotemperaturnem okolju in vodikovem okolju je veliko nižje kot priSic prevleke, zaradi česar kažejo boljšo stabilnost in trajnost pri dolgoročni uporabi.