Nosilec rezin sic prevleke

Vetek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo in oskrbo visokozmogljivih nosilcev rezin SiC in je zavezan k zagotavljanju napredne tehnologije in rešitev izdelkov za polprevodniško industrijo.

Pri proizvodnji polprevodnikov je nosilec rezin SIC za prevleko Vetek Semiconductor ključna sestavina opreme za nalaganje kemičnih hlapov (CVD), zlasti v kovinski organski opremi za nalaganje kemičnih hlapov (MOCVD). Njegova glavna naloga je podpirati in segreti enojni kristalni substrat, tako da lahko epitaksialna plast enakomerno raste. To je bistvenega pomena za izdelavo visokokakovostnih polprevodniških naprav.

Korozijska odpornost sic prevleke je zelo dobra, kar lahko učinkovito zaščiti grafitno bazo pred korozivnimi plini. To je še posebej pomembno v visokih temperaturnih in jedkih okoljih. Poleg tega je tudi toplotna prevodnost materiala SIC zelo odlična, ki lahko enakomerno vodi toploto in zagotovi enakomerno porazdelitev temperature, s čimer se izboljša kakovost rasti epitaksialnih materialov.

SIC prevleka ohranja kemično stabilnost v visoki temperaturi in jedko atmosfero, pri čemer se izogne ​​problemu okvare prevleke. Še pomembneje pa je, da je koeficient toplotne ekspanzije SIC podoben kot pri grafitu, ki se lahko izogne ​​problemu odstranjevanja prevleke zaradi toplotne ekspanzije in krčenja ter zagotavlja dolgoročno stabilnost in zanesljivost prevleke.

Osnovne fizikalne lastnostiNosilec rezin sic prevleke:

Proizvodna trgovina:

Pregled industrijske verige polprevodniških čipov Epitaxy: