Trdna glava prha v obliki diska v obliki diska

Vloga trdne glave prha v obliki diska v procesu CVD je enakomerno razporediti reakcijski plin nad območjem odlaganja, tako da se plin lahko enakomerno razprši po reaktorju, da dobimo ravno in enakomerno film.

Trdna glava tuširanja SiC je postavljena na vrhu peči CVD ali v bližini dovoda za plin. Reakcijski plin vstopi v strukturo v obliki diska skozi luknje, razporejene na tuš glavi in ​​se razprši po površini glave tuširanja. Z večkratnim načrtovanjem in enakomerno razporejenimi vtičnicami lahko reakcijski plin enakomerno teče na celotno reaktorsko območje, prepreči koncentracijo ali turbulenco in zagotovi konsistenco debeline plasti, odložene na podlagi.

Hkrati ima struktura tuš glave polprevodniškega diska tudi difuzijski učinek, kar lahko učinkovito zmanjša pretok plina, tako da se lahko enakomerno razprši v iztoku šobe in zmanjša vpliv lokalnih sprememb pretoka plina na učinek odlaganja. Pomaga se izogniti neposrednemu vplivu plina na substrat in preprečiti problem neenakomernega odlaganja.

Z vidika materialov je trdna glava za tuširanje s plinskim plinom izdelana iz visokotemperaturne, odporne proti koroziji in trdnega materiala SiC z visoko trdnostjo z zelo visoko stabilnostjo. V peči CVD lahko dolgo deluje stabilno in ima dolgo življenjsko dobo.

Vetek Semiconductor ponuja kakovostne prilagojene storitve. Oblika in postavitev luknje trdne glave tuširanja v obliki diska je mogoče prilagoditi glede na zahteve stranke, da se prilagodi različnim vrstam plina, pretoka in materialov za odlaganje. Za različne velikosti reaktorjev ali velikosti substrata je mogoče prilagoditi premere z različnimi premerom in porazdelitvijo lukenj, da se optimizira učinek porazdelitve plina.

Vetek Semiconductor ima zrele procese in napredne tehnologije za trdne izdelke za polprevodniško tuširanje SIC, kar pomaga velikemu številu kupcev pri doseganju stalnega napredka v procesih KVB. Vetek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Fizikalne lastnosti trdnega sic

To polprevodnikTrgovine za proizvodnjo tuš kabine