Obroč za fokusiranje iz trdnega SiC

6. Glavna področja uporabe

7. Veteksemi trdne SiC fokusiranje prstan prednosti jedra

Odlična odpornost na plazemsko korozijo

Pri dolgotrajni izpostavljenosti zelo jedki plazmi z visoko gostoto, kot so CF4, O2 in Cl2, so običajni materiali dovzetni za hitro obrabo in kontaminacijo z delci. Naš fokusni obroč iz trdnega SiC ima odlično odpornost proti koroziji, pri čemer je stopnja korozije veliko nižja kot pri materialih, kot sta kremen ali aluminijev oksid. To pomeni, da ohranja gladko površino v daljšem časovnem obdobju, kar znatno zmanjša tveganje za napake rezin, ki jih povzroči obraba komponent, kar zagotavlja neprekinjeno in stabilno množično proizvodnjo.

Odlična stabilnost pri visokih temperaturah in zmogljivost upravljanja toplote

Postopek polprevodniškega jedkanja ustvarja znatno toploto, zaradi česar komponente komore doživljajo dramatična temperaturna nihanja. Naši fokusni obroči imajo izredno nizek koeficient toplotnega raztezanja in lahko prenesejo prehodne temperature do 1600 °C brez razpok ali deformacij. Poleg tega njihova inherentna visoka toplotna prevodnost pomaga enakomerno in hitro razpršiti toploto, kar učinkovito izboljša porazdelitev temperature na robu rezine in s tem izboljšang enakomernost jedkanja in doslednost kritičnih dimenzij po celotni rezini.

Izjemna čistost materiala in strukturna gostota

Strogo nadzorujemo čistost surovin iz silicijevega karbida (≥99,999 %) in odpravljamo kovinsko onesnaženje med postopkom sintranja, da bi izpolnili stroge zahteve naprednih proizvodnih procesov za nadzor sledi nečistoč. Gosta struktura, oblikovana z visokotemperaturnim sintranjem, ima izredno nizko poroznost, ki skoraj popolnoma blokira prodiranje procesnih plinov in stranskih produktov. To preprečuje poslabšanje zmogljivosti in rast delcev, ki jih povzroči degradacija notranjega materiala, ter zagotavlja čisto okolje procesne komore.

Dolgotrajna mehanska življenjska doba in celovita stroškovna učinkovitost

V primerjavi z običajnimi potrošnimi materiali, ki zahtevajo pogosto menjavo, obroči za fokusiranje Veteksemi iz trdnega SiC nudijo izjemno vzdržljivost. Ohranjajo stabilno delovanje skozi celotno življenjsko dobo, kar večkrat podaljša cikle zamenjave. To ne le neposredno zmanjša stroške nabave rezervnih delov, ampak tudi znatno izboljša izkoriščenost stroja z zmanjšanjem časa izpada opreme zaradi vzdrževanja, kar ima za posledico znatne skupne stroškovne prednosti za stranke.

Natančen nadzor velikosti in prilagodljive storitve prilagajanja

Razumemo natančne zahteve različnih strojev in postopkov za potrošni material. Vsak obroč za ostrenje je podvržen natančni obdelavi in ​​strogemu testiranju, da se zagotovijo tolerance kritičnih dimenzij znotraj ±0,05 mm. Ponujamo tudi prilagojene storitve, vključno z velikostmi po meri, površinskimi obdelavami (poliranje na Ra ≤ 0,2 μm) in prilagoditvami prevodnosti, da popolnoma ustrezajo vašim specifičnim procesnim zahtevam in scenarijem uporabe.

Za podrobne tehnične specifikacije, bele knjige ali dogovore o testiranju vzorcev se obrnite na našo ekipo za tehnično podporo, da raziščemo, kako lahko Veteksemi izboljša učinkovitost vašega procesa.