koda QR

Izdelki
Kontaktiraj nas
Telefon
faks
+86-579-87223657
E-naslov
Naslov
Wangda Road, Ulica Ziyang, okrožje Wuyi, mesto Jinhua, provinca Zhejiang, Kitajska
Vetek polprevodniški trdni silicijev karbid je pomembna keramična komponenta v opremi za jedkanje v plazmi, trden silicijev karbid (CVD silicijev karbide) Deli v opremi jedkanice vključujejoosredotočene prstane, plinska prha, pladnja, robne obroče itd. Zaradi nizke reaktivnosti in prevodnosti trdnega silicijevega karbida (silicijevega karbida CVD) do plinov, ki vsebujejo fluor, in je idealen material za fokusiranje obročev in drugih sestavkov v plazmi.
Na primer, fokusni obroč je pomemben del, nameščen zunaj rezine in v neposrednem stiku z rezino, tako da na obroč uporabite napetost, da se fokusira plazma, ki gre skozi obroč, s čimer se usmeri plazmo na rezino za izboljšanje enakomernosti obdelave. Tradicionalni fokusni obroč je narejen iz silicija ozkremen, prevodni silicij kot pogost material fokusnega obroča, je skoraj blizu prevodnosti silicijevih rezin, vendar je pomanjkanje slabe odpornosti na jedkanje v plazmi, ki vsebujejo fluor, materiali za jedkanico, ki se pogosto uporabljajo za nekaj časa, resno zmanjšuje njegovo proizvodno fenomen.
SOlid sic fokusni prstanDelovno načelo:
Primerjava fokusnega prstana na osnovi SI in CVD SIC fokusiran prstan:
Primerjava fokusnega prstana na osnovi SI in CVD SIC fokusirani prstan | ||
Predmet | In | CVD sic |
Gostota (g/cm3) | 2.33 | 3.21 |
Vrzel v pasu (ev) | 1.12 | 2.3 |
Toplotna prevodnost (w/cm ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
Elastični modul (GPA) | 150 | 440 |
Trdota (GPA) | 11.4 | 24.5 |
Odpornost proti obrabi in koroziji | Revni | Odlično |
Vetek Semiconductor ponuja napredne trdne silicijeve karbide (CVD silicijev karbid), kot so SIC fokusni obroči za polprevodniško opremo. Naši trdni fokusi silicijeve karbide presegajo tradicionalni silicij glede na mehansko trdnost, kemično odpornost, toplotno prevodnost, visokotemperaturno trajnost in odpornost na ionsko jedkanje.
Visoka gostota za znižane stopnje jedkanja.
Odlična izolacija z visokim pasom.
Visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotne ekspanzije.
Vrhunska mehanska odpornost in elastičnost.
Visoka trdota, odpornost na obrabo in korozijska odpornost.
Izdelano z uporaboPlazma okrepljeno odlaganje kemičnih hlapov (PECVD)Tehnike, naši sic fokusni obroči ustrezajo naraščajočim zahtevam procesov jedkanja v proizvodnji polprevodnikov. Zasnovani so tako, da prenesejo višjo plazemsko moč in energijo, zlasti vKapacitivno povezana plazma (CCP)sistemi.
SIC fokusirani prstani Vetek Semiconductor zagotavljajo izjemno zmogljivost in zanesljivost v proizvodnji polprevodniških naprav. Izberite naše komponente SIC za vrhunsko kakovost in učinkovitost.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ulica Ziyang, okrožje Wuyi, mesto Jinhua, provinca Zhejiang, Kitajska
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Vse pravice pridržane.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |