Spletni meni

Iskanje izdelkov

Jezik

Izdelki

Trden silicijev karbid

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je pomembna keramična komponenta v opremi za plazemsko jedkanje, trdni silicijev karbid (CVD silicijev karbid) vključuje dele opreme za jedkanjeobroči za fokusiranje, plinska prha, pladenj, robni obroči itd. Zaradi nizke reaktivnosti in prevodnosti trdnega silicijevega karbida (CVD silicijevega karbida) na pline za jedkanje, ki vsebujejo klor in fluor, je idealen material za obroče za fokusiranje opreme za plazemsko jedkanje in drugo komponente.


Fokusni obroč je na primer pomemben del, nameščen zunaj rezine in v neposrednem stiku z rezino, z uporabo napetosti na obroču za fokusiranje plazme, ki prehaja skozi obroč, in s tem fokusira plazmo na rezino za izboljšanje enakomernosti predelava. Tradicionalni fokusni obroč je narejen iz silikona ozkremen, prevodni silicij kot običajen material obroča za fokus, je skoraj blizu prevodnosti silicijevih rezin, vendar je pomanjkanje slaba odpornost proti jedkanju v plazmi, ki vsebuje fluor, materiali delov stroja za jedkanje, ki se pogosto uporabljajo za določen čas, bodo resni pojav korozije, kar resno zmanjša njegovo proizvodno učinkovitost.


Sstari SiC fokusni obročNačelo delovanja：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Primerjava obroča za fokusiranje na osnovi Si in obroča za fokusiranje CVD SiC:

Primerjava obroča za fokusiranje na osnovi Si in obroča za fokusiranje CVD SiC
Postavka in CVD SiC
Gostota (g/cm3) 2.33 3.21
Pasovna vrzel (eV) 1.12 2.3
Toplotna prevodnost (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Modul elastičnosti (GPa) 150 440
Trdota (GPa) 11.4 24.5
Odpornost proti obrabi in koroziji Ubogi Odlično


VeTek Semiconductor ponuja napredne dele iz trdnega silicijevega karbida (CVD silicijev karbid), kot so fokusni obroči SiC za polprevodniško opremo. Naši fokusni obroči iz trdnega silicijevega karbida prekašajo tradicionalni silicij v smislu mehanske trdnosti, kemične odpornosti, toplotne prevodnosti, vzdržljivosti pri visokih temperaturah in odpornosti proti ionskem jedkanju.


Ključne značilnosti naših obročev za fokusiranje iz SiC vključujejo:

Visoka gostota za manjše stopnje jedkanja.

Odlična izolacija z visoko pasovno režo.

Visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja.

Vrhunska odpornost na mehanske udarce in elastičnost.

Visoka trdota, odpornost proti obrabi in odpornost proti koroziji.

Proizvedeno z uporabos plazmo izboljšano kemično naparjevanje (PECVD)tehnike, naši fokusirni obroči iz SiC izpolnjujejo vse večje zahteve postopkov jedkanja v proizvodnji polprevodnikov. Zasnovani so tako, da prenesejo večjo moč in energijo plazme, zlasti vkapacitivno sklopljena plazma (CCP)sistemi.

Fokusni obroči VeTek Semiconductor iz SiC zagotavljajo izjemno zmogljivost in zanesljivost pri izdelavi polprevodniških naprav. Izberite naše komponente SiC za vrhunsko kakovost in učinkovitost.


View as  
 
Silicon karbidni tesnilni prstan

Silicon karbidni tesnilni prstan

Kot profesionalni proizvajalec izdelkov in tovarna iz silicijevega karbidnega tesnila na Kitajskem, se tesnilni obroč iz polprevodniškega silicijevega karbida Vetek pogosto uporablja v opremi za polprevodniško predelavo zaradi svoje odlične toplotne odpornosti, korozijske odpornosti, mehanske trdnosti in toplotne prevodnosti. Posebej je primeren za procese, ki vključujejo visoko temperaturo in reaktivne pline, kot so CVD, PVD in jedkanica v plazmi, in je ključna izbira materiala v procesu izdelave polprevodnikov. Vaše nadaljnje poizvedbe so dobrodošle.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Blok CVD SIC za rast kristalov SIC

Blok CVD SIC za rast kristalov SIC

CVD SIC blok za rast kristalov SIC je nov visoko čistost surovine, ki jo je razvil Vetek Semiconductor. Ima visoko razmerje med vhodom in izhodom in lahko raste kakovostne enojne kristale silicijevega karbida v veliki velikosti, ki je material druge generacije, ki nadomešča prah, ki se danes uporablja na trgu. Dobrodošli, da razpravljamo o tehničnih vprašanjih.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
SIC kristalna rast nova tehnologija

SIC kristalna rast nova tehnologija

Ultra-visok silicijev karbid čistilnega karbida Vetek Semiconctor (SIC), ki ga tvori kemično odlaganje hlapov (CVD), se priporoča, da se uporablja kot izvorni material za gojenje kristalov silicijevega karbida s fizikalnim transportom hlapov (PVT). V novi tehnologiji SIC kristala se izvorni material naloži v lonček in sublimira na semenski kristal. Uporabite bloke CVD-SIC z visoko čistostjo kot vir za gojenje sic kristalov. Dobrodošli, da ustanovimo partnerstvo z nami.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
CVD sic tuš glava

CVD sic tuš glava

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator za tuširanje CVD SiC na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za SIC material. CVD sic tuš glava je izbran kot fokusni obročni material zaradi svoje odlične termokemične stabilnosti, visoke mehanske moči in odpornosti na erozijo plazme. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Sic tuš glava

Sic tuš glava

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator za tuširanje SiC na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za SIC. SIC tuš glava je izbrana kot fokusni obročni material zaradi svoje odlične termokemične stabilnosti, visoke mehanske moči in odpornosti na erozijo plazme. Veselimo se, da bo na Kitajskem postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Trdna glava za tuširanje s plinom

Trdna glava za tuširanje s plinom

Solid SiC plinska tuš glava ima pomembno vlogo pri izenačevanju plina v procesu CVD, s čimer zagotavlja enakomerno segrevanje podlage. VeTek Semiconductor je že vrsto let poglobljeno vpleten v področje naprav iz trdnega SiC in je sposoben strankam zagotoviti prilagojene plinske glave za tuširanje iz trdnega SiC. Ne glede na vaše zahteve, veselimo se vašega povpraševanja.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Kot profesionalec Trden silicijev karbid proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Trden silicijev karbid, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
Novice Priporočila
Zakaj 3C-SIC izstopa med številnimi polimorfi SIC? - Vetek Semiconductor
Zakaj 3C-SIC izstopa med številnimi polimorfi SIC? - Vetek SemiconductorPoglej več >>
Kako doseči visoko kakovostno rast kristalov? - sic kristalna rastna peč
Kako doseči visoko kakovostno rast kristalov? - sic kristalna rastna pečPoglej več >>
Kaj je elektrostatični chuck (ESC)?
Kaj je elektrostatični chuck (ESC)?Poglej več >>
Polprevodniški postopek: kemično naparjevanje (CVD)
Polprevodniški postopek: kemično naparjevanje (CVD)Poglej več >>
Koliko veste o CVD sic? - Vetek Semiconductor
Koliko veste o CVD sic? - Vetek SemiconductorPoglej več >>
Kako sic prevleka izboljša oksidacijsko odpornost na ogljik？
Kako sic prevleka izboljša oksidacijsko odpornost na ogljik？Poglej več >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept