Trden silicijev karbid

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je pomembna keramična komponenta v opremi za plazemsko jedkanje, trdni silicijev karbid (CVD silicijev karbid) vključuje dele opreme za jedkanjeobroči za fokusiranje, plinska prha, pladenj, robni obroči itd. Zaradi nizke reaktivnosti in prevodnosti trdnega silicijevega karbida (CVD silicijevega karbida) na pline za jedkanje, ki vsebujejo klor in fluor, je idealen material za obroče za fokusiranje opreme za plazemsko jedkanje in drugo komponente.

Fokusni obroč je na primer pomemben del, nameščen zunaj rezine in v neposrednem stiku z rezino, z uporabo napetosti na obroču za fokusiranje plazme, ki prehaja skozi obroč, in s tem fokusira plazmo na rezino za izboljšanje enakomernosti predelava. Tradicionalni fokusni obroč je narejen iz silikona ozkremen, prevodni silicij kot običajen material obroča za fokus, je skoraj blizu prevodnosti silicijevih rezin, vendar je pomanjkanje slaba odpornost proti jedkanju v plazmi, ki vsebuje fluor, materiali delov stroja za jedkanje, ki se pogosto uporabljajo za določen čas, bodo resni pojav korozije, kar resno zmanjša njegovo proizvodno učinkovitost.

Sstari SiC fokusni obročNačelo delovanja：

Primerjava obroča za fokusiranje na osnovi Si in obroča za fokusiranje CVD SiC: