Izdelki

Trden silicijev karbid

Vetek polprevodniški trdni silicijev karbid je pomembna keramična komponenta v opremi za jedkanje v plazmi, trden silicijev karbid (CVD silicijev karbide) Deli v opremi jedkanice vključujejoosredotočene prstane, plinska prha, pladnja, robne obroče itd. Zaradi nizke reaktivnosti in prevodnosti trdnega silicijevega karbida (silicijevega karbida CVD) do plinov, ki vsebujejo fluor, in je idealen material za fokusiranje obročev in drugih sestavkov v plazmi.


Na primer, fokusni obroč je pomemben del, nameščen zunaj rezine in v neposrednem stiku z rezino, tako da na obroč uporabite napetost, da se fokusira plazma, ki gre skozi obroč, s čimer se usmeri plazmo na rezino za izboljšanje enakomernosti obdelave. Tradicionalni fokusni obroč je narejen iz silicija ozkremen, prevodni silicij kot pogost material fokusnega obroča, je skoraj blizu prevodnosti silicijevih rezin, vendar je pomanjkanje slabe odpornosti na jedkanje v plazmi, ki vsebujejo fluor, materiali za jedkanico, ki se pogosto uporabljajo za nekaj časa, resno zmanjšuje njegovo proizvodno fenomen.


SOlid sic fokusni prstanDelovno načelo

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Primerjava fokusnega prstana na osnovi SI in CVD SIC fokusiran prstan:

Primerjava fokusnega prstana na osnovi SI in CVD SIC fokusirani prstan
Predmet In CVD sic
Gostota (g/cm3) 2.33 3.21
Vrzel v pasu (ev) 1.12 2.3
Toplotna prevodnost (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elastični modul (GPA) 150 440
Trdota (GPA) 11.4 24.5
Odpornost proti obrabi in koroziji Revni Odlično


Vetek Semiconductor ponuja napredne trdne silicijeve karbide (CVD silicijev karbid), kot so SIC fokusni obroči za polprevodniško opremo. Naši trdni fokusi silicijeve karbide presegajo tradicionalni silicij glede na mehansko trdnost, kemično odpornost, toplotno prevodnost, visokotemperaturno trajnost in odpornost na ionsko jedkanje.


Ključne značilnosti naših sic fokusnih obročev vključujejo:

Visoka gostota za znižane stopnje jedkanja.

Odlična izolacija z visokim pasom.

Visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotne ekspanzije.

Vrhunska mehanska odpornost in elastičnost.

Visoka trdota, odpornost na obrabo in korozijska odpornost.

Izdelano z uporaboPlazma okrepljeno odlaganje kemičnih hlapov (PECVD)Tehnike, naši sic fokusni obroči ustrezajo naraščajočim zahtevam procesov jedkanja v proizvodnji polprevodnikov. Zasnovani so tako, da prenesejo višjo plazemsko moč in energijo, zlasti vKapacitivno povezana plazma (CCP)sistemi.

SIC fokusirani prstani Vetek Semiconductor zagotavljajo izjemno zmogljivost in zanesljivost v proizvodnji polprevodniških naprav. Izberite naše komponente SIC za vrhunsko kakovost in učinkovitost.


View as  
 
Trdna glava za tuširanje s plinom

Trdna glava za tuširanje s plinom

Solid SiC plinska tuš glava ima pomembno vlogo pri izenačevanju plina v procesu CVD, s čimer zagotavlja enakomerno segrevanje podlage. VeTek Semiconductor je že vrsto let poglobljeno vpleten v področje naprav iz trdnega SiC in je sposoben strankam zagotoviti prilagojene plinske glave za tuširanje iz trdnega SiC. Ne glede na vaše zahteve, veselimo se vašega povpraševanja.
Postopek nalaganja kemičnih hlapov Trden sic robni obroč

Postopek nalaganja kemičnih hlapov Trden sic robni obroč

Vetek Semiconductor je bil od nekdaj zavezan raziskovanju in razvoju ter izdelavi naprednih polprevodniških materialov. Danes je Vetek Semiconductor močno napredoval v postopku nanašanja kemičnih hlapov Trdni izdelki za robni obroč in lahko kupcem zagotovijo zelo prilagojene trdne obroče. Trdni obroči za sic zagotavljajo boljšo enakomernost jedkanja in natančno pozicioniranje rezin, kadar se uporablja z elektrostatičnim cruckom, kar zagotavlja dosledne in zanesljive rezultate jedkanja. Veselimo se vaše poizvedbe in postati dolgoročni partnerji drug drugega.
Fokusni obroč za jedkanje iz trdnega SiC

Fokusni obroč za jedkanje iz trdnega SiC

Trden obroč za fokusiranje jedkanja sic je ena izmed temeljnih komponent procesa jedkanja rezin, ki igra vlogo pri pritrditvi rezin, osredotočenosti na plazmo in izboljšanju enakomernosti jedkanja rezin. Kot vodilni proizvajalec obroča SIC na Kitajskem ima Vetek Semiconductor napredno tehnologijo in zrel postopek ter izdeluje trden fokusni prstan, ki v celoti ustreza potrebam končnih kupcev glede na zahteve kupcev. Veselimo se vaše poizvedbe in postati drug drugega dolgoročni partnerji.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Kot profesionalec Trden silicijev karbid proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Trden silicijev karbid, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept