Oksidacijska in difuzijska peč

Oksidacijske in difuzijske peči se uporabljajo na različnih področjih, kot so polprevodniške naprave, diskretne naprave, optoelektronske naprave, močnostne elektronske naprave, sončne celice in obsežna proizvodnja integriranih vezij. Uporabljajo se za postopke, vključno z difuzijo, oksidacijo, žarjenjem, legiranjem in sintranjem rezin.

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec, specializiran za proizvodnjo komponent grafita, silicijevega karbida in kremena visoke čistosti v oksidacijskih in difuzijskih pečeh. Zavezani smo k zagotavljanju visokokakovostnih komponent peči za polprevodniško in fotovoltaično industrijo ter smo v ospredju tehnologije površinskih premazov, kot so CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon itd.

Prednosti komponent iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor:

Odpornost na visoke temperature (do 1600 ℃)

Odlična toplotna prevodnost in toplotna stabilnost

Dobra kemična odpornost proti koroziji

Nizek koeficient toplotnega raztezanja

Visoka trdnost in trdota

Dolga življenjska doba

V oksidacijskih in difuzijskih pečeh zaradi prisotnosti visokotemperaturnih in jedkih plinov veliko komponent zahteva uporabo materialov, odpornih na visoke temperature in korozijo, med katerimi je silicijev karbid (SiC) pogosto uporabljena izbira. Spodaj so pogoste komponente silicijevega karbida, ki jih najdemo v oksidacijskih in difuzijskih pečeh:

Čoln napolitanke

Čoln za rezine iz silicijevega karbida je posoda za prevoz silicijevih rezin, ki lahko prenesejo visoke temperature in ne reagirajo s silicijevimi rezinami.

Pečna cev

Cev peči je osrednja komponenta difuzijske peči, ki se uporablja za namestitev silicijevih rezin in nadzor reakcijskega okolja. Cevi za peči iz silicijevega karbida imajo odlično odpornost na visoke temperature in korozijo.

Odbojna plošča

Uporablja se za uravnavanje pretoka zraka in porazdelitve temperature v peči

Zaščitna cev termočlena

Uporablja se za zaščito termoelementov za merjenje temperature pred neposrednim stikom z jedkimi plini.

Konzolno veslo

Konzolne lopatice iz silicijevega karbida so odporne na visoke temperature in korozijo ter se uporabljajo za transport silicijevih čolnov ali kremenčevih čolnov, ki prenašajo silicijeve rezine v cevi difuzijske peči.

Plinski injektor

Uporablja se za dovajanje reakcijskega plina v peč, zato mora biti odporen na visoke temperature in korozijo.

Nosilec čolnov

Nosilec za rezine iz silicijevega karbida se uporablja za pritrditev in podporo silicijevih rezin, ki imajo prednosti, kot so visoka trdnost, odpornost proti koroziji in dobra strukturna stabilnost.

Vrata peči

Prevleke ali komponente iz silicijevega karbida se lahko uporabljajo tudi na notranji strani vrat peči.

Grelni element

Grelni elementi iz silicijevega karbida so primerni za visoke temperature, visoko moč in lahko hitro dvignejo temperaturo na več kot 1000 ℃.

SiC obloga

Uporablja se za zaščito notranje stene cevi peči, pomaga zmanjšati izgubo toplotne energije in vzdrži težka okolja, kot sta visoka temperatura in visok tlak.