Izdelki

Oksidacija in difuzijska peč

Oksidacijske in difuzijske peči se uporabljajo na različnih poljih, kot so polprevodniške naprave, diskretne naprave, optoelektronske naprave, napajalne elektronske naprave, sončne celice in obsežno integrirano proizvodnjo vezja. Uporabljajo se za procese, vključno z difuzijo, oksidacijo, žarjenjem, legiranjem in sintranjem rezin.


Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec, ki je specializiran za proizvodnjo komponent z visoko čistim grafitom, silicijevim karbidom in kremenikom v oksidacijski in difuzijski peči. Zavezani smo k zagotavljanju kakovostnih komponent peči za polprevodniško in fotovoltaično industrijo in smo v ospredju tehnologije površinske prevleke, kot so CVD-SIC, CVD-TAC, pirokarbon itd.


Prednosti komponent Vetek Semicon karbid:

● Visoka temperaturna odpornost (do 1600 ℃)

● Odlična toplotna prevodnost in toplotna stabilnost

● Dobra kemična korozijska odpornost

● Nizek koeficient toplotne ekspanzije

● Visoka moč in trdota

● Dolgo življenjsko dobo


V oksidacijskih in difuzijskih pečih zaradi prisotnosti visoke temperature in korozivnih plinov veliko komponent zahteva uporabo visokotemperaturnih in korozijskih odpornih materialov, med katerimi je silicijev karbid (SIC) pogosto uporabljena izbira. Sledijo običajne komponente silicijevega karbida, ki jih najdemo v oksidacijskih peči in difuzijskih peči:



● Vafska čoln

Silicon karbidni čoln je posoda, ki se uporablja za prevoz silicijevih rezin, ki lahko prenese visoke temperature in ne bo reagirala s silikonskimi rezinami.


● Cev za peč

Cev za peč je temeljna sestavina difuzijske peči, ki se uporablja za namestitev silicijevih rezin in nadzorovanje reakcijskega okolja. Cevi za peči iz silicijevega karbida imajo odlične visokotemperature in korozijske odpornosti.


● BAFFLE PLATE

Uporablja se za uravnavanje pretoka zraka in temperature znotraj peči


● Zaščitna cev za termoelemen

Uporablja se za zaščito temperaturne merjenja termoelementov pred neposrednim stikom s korozivnimi plini.


● konzolna vesla

Cantilever Cantilever iz silicijevega karbida so odporni na visoko temperaturo in korozijo in se uporabljajo za prevoz silicijevih čolnov ali kremenčevih čolnov, ki nosijo silicijeve rezine v cevi za difuzijsko peč.


● Vbrizgalnik plina

Uporablja se za uvedbo reakcijskega plina v peč, mora biti odporen na visoko temperaturo in korozijo.


● Prevoznik čolna

Nosilec čolna iz silicijevega karbida se uporablja za popravljanje in podporo silicijeve rezine, ki imajo prednosti, kot so visoka trdnost, korozijska odpornost in dobra konstrukcijska stabilnost.


● Vrata peči

Na notranji strani vrat peči se lahko uporabijo tudi silikonski karbidni premazi ali sestavni deli.


● Ogrevalni element

Ogrevalni elementi iz silicijevega karbida so primerni za visoke temperature, veliko moč in lahko hitro dvignejo temperature na več kot 1000 ℃.


● Sic obloga

Uporablja se za zaščito notranje stene cevi za peči, lahko pomaga zmanjšati izgubo toplotne energije in vzdrži ostro okolje, kot sta visoka temperatura in visok tlak.

View as  
 
Keramični čoln iz silicijevega karbida

Keramični čoln iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor je specializiran za zagotavljanje visokokakovostnih ladij za rezine, podstavkov in nosilcev za rezine po meri v navpičnih/stolpnih in vodoravnih konfiguracijah za izpolnjevanje različnih zahtev polprevodniškega procesa. Kot vodilni proizvajalec in dobavitelj filmov za prevleko iz silicijevega karbida je naš čoln s keramičnimi rezinami iz silicijevega karbida priljubljen na evropskem in ameriškem trgu zaradi visoke stroškovne učinkovitosti in odlične kakovosti ter se pogosto uporablja v naprednih procesih proizvodnje polprevodnikov. VeTek Semiconductor se zavzema za vzpostavitev dolgoročnih in stabilnih odnosov sodelovanja z globalnimi strankami in še posebej upa, da bo postal vaš zanesljiv partner za polprevodniške procese na Kitajskem.
Cantilever vesla iz silicijevega karbida (sic)

Cantilever vesla iz silicijevega karbida (sic)

Vloga konzolnega vesla iz silicijevega karbida (SiC) v industriji polprevodnikov je podpora in transport rezin. Pri visokotemperaturnih procesih, kot sta difuzija in oksidacija, lahko SiC konzolno veslo stabilno prenaša rezine in rezine brez deformacij ali poškodb zaradi visoke temperature, kar zagotavlja nemoten potek postopka. Izboljšanje enotnosti difuzije, oksidacije in drugih procesov je ključnega pomena za izboljšanje konsistence in izkoristka obdelave rezin. VeTek Semiconductor uporablja napredno tehnologijo za izdelavo SiC konzolnega vesla s silicijevim karbidom visoke čistosti, da zagotovi, da rezine ne bodo onesnažene. VeTek Semiconductor se veseli dolgoročnega sodelovanja z vami pri izdelkih s konzolnim veslom iz silicijevega karbida (SiC).
Kremenčev lonček

Kremenčev lonček

VeTek Semiconductor je vodilni dobavitelj in proizvajalec kvarčnih lončkov na Kitajskem. kremenčevi lončki, ki jih izdelujemo, se večinoma uporabljajo na področju polprevodnikov in fotovoltaike. Imajo lastnosti čistoče in odpornosti na visoke temperature. In naš kvarčni lonček za polprevodnike podpira proizvodne procese vlečenja silicijeve palice, nalaganja in praznjenja polisilicijevih surovin v procesu proizvodnje polprevodniških silicijevih rezin in je ključni potrošni material za proizvodnjo silicijevih rezin. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Nosilec rezin silicijeve karbide

Nosilec rezin silicijeve karbide

Kot profesionalni dobavitelj nosilcev rezin iz silicijevega karbida na Kitajskem je VeTek Semiconductor SiC nosilec rezin orodje, ki se posebej uporablja za ravnanje in obdelavo polprevodniških rezin, ki ima nenadomestljivo vlogo v postopku izdelave polprevodniških rezin. Vabljeni k nadaljnjemu posvetovanju.
Silikonski podstavek

Silikonski podstavek

VeTek Semiconductor Silicon Pedestal je ključna komponenta v procesih difuzije in oksidacije polprevodnikov. Kot namenska platforma za prenašanje silicijevih čolnov v visokotemperaturnih pečeh ima Silicon Pedestal veliko edinstvenih prednosti, vključno z izboljšano enakomernostjo temperature, optimizirano kakovostjo rezin in izboljšano zmogljivostjo polprevodniških naprav. Za več informacij o izdelku nas kontaktirajte.
Sic keramični tesnilni prstan

Sic keramični tesnilni prstan

Kot obsežna tovarna in dobavitelj izdelkov SIC keramičnega tesnila na Kitajskem ima Vetek Semiconductor SIC keramični tesnilni obroč široko paleto uporabe na industrijskem polju zaradi svoje odlične toplotne prevodnosti, izjemne kemijske in korozijske odpornosti ter visoke trdnosti in trditve. Dobrodošli v nadaljnjih poizvedbah.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Kot profesionalec Oksidacija in difuzijska peč proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Oksidacija in difuzijska peč, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept