Keramični čoln iz silicijevega karbida

Prednosti uporabe Veteksemi keramičnega čolna iz silicijevega karbida

● Zelo visoka temperaturna odpornost do 3000 F (1650 ℃)

●  Super odpornost proti koroziji na  kisline, topila, soli in organske snovi, odporen proti obrabi  

● Enostaven za čiščenje

● Močna odpornost na udarce

● Brez zdrsa

Industrija proizvodnje polprevodnikov Vetek običajno obdeluje te rezine bodisi v vodoravnem nosilcu rezin ali navpičnih nosilcev.

● Vodoravni nosilec, ki se običajno imenuje "čoln", ima tri ali štiri vodoravno odstranjene palice, razporejene v polkrogu, pri čemer ima vsaka palica navznoter obrnjene utore, postavljene v njej v rednih presledkih. Vsak sklop utorov določa navpični prostor za nošenje navpično odstranjene rezine.

● navpični nosilec, ki se običajno imenuje "navpično stojalo", ima tri ali štiri navpično nameščene palice (ali drogove), razporejene v obliki polkroga, pri čemer ima vsak steber v rednih intervalih nameščene reže, ki določajo prostor za podporo vodoravno nameščene rezine.

Za zavarovanje geometrijske natančnosti, potrebne na tem področju, so tri ali štiri palice pritrjene na zgornjo ploščo in spodnjo ploščo. Deli stene med vsako režo, imenovano "zobje", so enako razmaknjeni, da bi v rednih presledkih podprli rezine in vzporedni do spodnje plošče. Celoten stojalo se nato postavi v navpično peč za predelavo rezin.

Ker rezina, obdelana na navpičnem stojalu, doživi manjši temperaturni gradient na svoji strani (v primerjavi z rezino, obdelano v vodoravnem čolnu), se proizvajalci polprevodnikov vedno bolj obračajo na navpične peči. Vendar pa obstaja pomanjkljivost navpičnega kurjenja. Rezine, nameščene na običajnem navpičnem stojalu, so podprte samo na zunanjem robu. Kot taka so področja rezine, ki ležijo na teh zobcih, bolj obremenjena kot preostali del rezine.

Kadar temperature v peči presegajo približno 1000 ° C, te napetosti pogosto postanejo pomembne in deli enotne kristalne rezine se premikajo med seboj vzdolž kristalografskih plošč kot odziv na ta stres. Ta pojav, imenovan "zdrs", učinkovito uničuje vrednost polprevodniških naprav, ki se nahajajo na območju rezine, kjer je prišlo do zdrsa.

Kot vodilni dobavitelj in proizvajalec keramičnih rezin iz silicijevega karbida na Kitajskem je Vetek Semiconductor vedno zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in rešitve izdelkov za izdelke za rezine za industrijo predelave polprevodnikov. Iskreno se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

VeTek SemiconductorTrgovine za proizvodnjo čolnov iz silicijevega karbida: