Oksidacija in difuzijska peč

● Visoka temperaturna odpornost (do 1600 ℃)

● Odlična toplotna prevodnost in toplotna stabilnost

● Dobra kemična korozijska odpornost

● Nizek koeficient toplotne ekspanzije

● Visoka moč in trdota

● Dolgo življenjsko dobo

V oksidacijskih in difuzijskih pečih zaradi prisotnosti visoke temperature in korozivnih plinov veliko komponent zahteva uporabo visokotemperaturnih in korozijskih odpornih materialov, med katerimi je silicijev karbid (SIC) pogosto uporabljena izbira. Sledijo običajne komponente silicijevega karbida, ki jih najdemo v oksidacijskih peči in difuzijskih peči:

● Vafska čoln

Silicon karbidni čoln je posoda, ki se uporablja za prevoz silicijevih rezin, ki lahko prenese visoke temperature in ne bo reagirala s silikonskimi rezinami.

● Cev za peč

Cev za peč je temeljna sestavina difuzijske peči, ki se uporablja za namestitev silicijevih rezin in nadzorovanje reakcijskega okolja. Cevi za peči iz silicijevega karbida imajo odlične visokotemperature in korozijske odpornosti.

● BAFFLE PLATE

Uporablja se za uravnavanje pretoka zraka in temperature znotraj peči

● Zaščitna cev za termoelemen

Uporablja se za zaščito temperaturne merjenja termoelementov pred neposrednim stikom s korozivnimi plini.

● konzolna vesla

Cantilever Cantilever iz silicijevega karbida so odporni na visoko temperaturo in korozijo in se uporabljajo za prevoz silicijevih čolnov ali kremenčevih čolnov, ki nosijo silicijeve rezine v cevi za difuzijsko peč.

● Vbrizgalnik plina

Uporablja se za uvedbo reakcijskega plina v peč, mora biti odporen na visoko temperaturo in korozijo.

● Prevoznik čolna

Nosilec čolna iz silicijevega karbida se uporablja za popravljanje in podporo silicijeve rezine, ki imajo prednosti, kot so visoka trdnost, korozijska odpornost in dobra konstrukcijska stabilnost.

● Vrata peči

Na notranji strani vrat peči se lahko uporabijo tudi silikonski karbidni premazi ali sestavni deli.

● Ogrevalni element

Ogrevalni elementi iz silicijevega karbida so primerni za visoke temperature, veliko moč in lahko hitro dvignejo temperature na več kot 1000 ℃.

● Sic obloga

Uporablja se za zaščito notranje stene cevi za peči, lahko pomaga zmanjšati izgubo toplotne energije in vzdrži ostro okolje, kot sta visoka temperatura in visok tlak.