Izdelki
Visoka čistost sic rezin
  • Visoka čistost sic rezinVisoka čistost sic rezin
  • Visoka čistost sic rezinVisoka čistost sic rezin
  • Visoka čistost sic rezinVisoka čistost sic rezin
  • Visoka čistost sic rezinVisoka čistost sic rezin

Visoka čistost sic rezin

Vetek Semiconductor ponuja prilagojen nosilci čolna z visoko čistostjo sic. Izdelana iz silicijevega karbida z visoko čistostjo, ima reže, da držimo rezino na mestu, kar preprečuje, da bi med predelavo drselo. Po potrebi je na voljo tudi CVD SiC prevleka. Kot profesionalni in močan proizvajalec in dobavitelj polprevodnikov je Vetek Semiconductor's High čistost Sic Sic Wafer Carrier cena konkurenčna in kakovostna. Vetek Semiconductor se veseli, da bo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

VETEKSMI VISOKO ČISTO SIC SIC vafeljski nosilec je pomembna ležajna sestavina, ki se uporablja pri žarjenju peči, difuzijskih peči in druge opreme v postopku izdelave polprevodnikov. Nosilec čolna z visoko čistostjo sic je običajno narejen iz silicijevega karbida z visoko čistostjo in vključuje predvsem naslednje dele:


Nosilno telo čolna: struktura, podobna oklepaju, posebej uporabljena za nošenjeSilicijeve rezineali druge polprevodniške materiale.


Podporna struktura: Njegova zasnova podporne strukture omogoča, da nosi težke obremenitve pri visokih temperaturah in se med obdelavo visoke temperature ne bo deformirala ali poškodovala.


silicon carbide material

Silicijev karbidni material


Fizične lastnostiRekristaliziran silicijev karbid


Lastnina
Tipična vrednost
Delovna temperatura (° C)
1600 ° C (s kisikom), 1700 ° C (zmanjšanje okolja)
Vsebnost SiC
> 99,96 %
Brezplačna vsebina SI
< 0,1 %
Gostota v razsutem stanju
2,60-2,70 g/cm3
Navidezna poroznost
<16%
Trdnost stiskanja
> 600 MPa
Hladna upogibna trdnost
80-90 MPa (20 ° C)
Vroča upogibna moč
90-100 MPa (1400 °C)
Toplotna ekspanzija @1500 ° C.
4,70*10-6/° C.
Toplotna prevodnost @1200 ° C.
23 w/m • k
Modul elastičnosti
240 GPA
Odpornost toplotnega udarca
Izjemno dobro

Če so zahteve glede proizvodnega procesa višje,CVD SiC prevlekase lahko izvede na nosilcu za čolne iz SiC rezin visoke čistosti, da doseže čistost več kot 99,99995 %, kar dodatno izboljša njegovo odpornost na visoke temperature.


Osnovne fizikalne lastnosti CVD sic prevleke:


Lastnina
Tipična vrednost
Kristalna struktura
FCC β fazni polikristalni, predvsem (111) usmerjen
Gostota
3,21 g/cm³
Trdota
2500 Vickers trdota(500g obremenitev)
Velikost zrn
2 ~ 10 mm
Kemična čistost
99,99995 %
Toplotna zmogljivost
640 J·kg-1· K.-1
Temperatura sublimacije
2700 ℃
Upogibna moč
415 MPA RT 4-točka
Youngov modul
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Toplotna prevodnost
300W · m-1· K.-1
Toplotna ekspanzija (CTE)
4,5×10-6K-1

Med obdelavo visoke temperature visoko čistost sic -rezinski nosilec omogoča enakomerno segrevanje silicijeve rezine, da se izognete lokalnemu pregrevanju. Poleg tega visoko temperaturna odpornost silicijevega karbidnega materiala omogoča ohranjanje strukturne stabilnosti pri temperaturah 1200 ° C ali celo višje.working principle of High purity SiC wafer boat carrier


Med postopkom difuzije ali žarjenja sta konzolna vesla in nosilec čolna z visoko čistostjo sic. Thekonzolno veslopočasi potisne nosilec rezin SiC visoke čistosti, ki nosi silicijeve rezine, v komoro peči in jo ustavi na določenem mestu za obdelavo. 


Nosilec za rezine SiC visoke čistosti vzdržuje stik s silicijevimi rezinami in je pritrjen na določen položaj med postopkom toplotne obdelave, medtem ko konzolno veslo pomaga ohranjati celotno strukturo v pravilnem položaju, hkrati pa zagotavlja enakomernost temperature.


Nosilec za čoln z rezinami SiC visoke čistosti in konzolno veslo delujeta skupaj, da zagotovita natančnost in stabilnost visokotemperaturnega postopka.


To polprevodnikvam zagotavlja prilagojen nosilec za čolne iz SiC rezin visoke čistosti glede na vaše potrebe. Veselimo se vašega povpraševanja.


To polprevodnikTrgovine za prevoz čolnov na rezine SiC visoke čistosti:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Hot Tags: Visoka čistost sic rezin
Pošlji povpraševanje
Kontaktne informacije
Za vprašanja o prevleki iz silicijevega karbida, prevleki iz tantalovega karbida, posebnem grafitu ali ceniku, nam pustite svoj e-poštni naslov in kontaktirali vas bomo v 24 urah.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept