Kako izbrati MOCVD Graphite pladenj?

Vprašanje 1: Kaj je MOCVD grafitni pladenj in zakaj je tako pomemben za epitaksialni postopek?

Kovinsko-organsko kemično nalaganje hlapov (MOCVD) grafitna plošča, znana tudi kot MOCVD grafitni pladenj ali MOCVD grafitni asiceptor, je komponenta z visoko čistočo, ki se uporablja za določanje polprevodniških rezin med epitaksialno rastjo. V epitaksialnem procesu deluje kot ogrevalni element in zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature, ki ima nenadomestljivo vlogo pri odlaganju tankih filmov v aplikacijah, kot so napredne polprevodniške naprave, proizvodnja LED in sončne celice.

Grafitni pladenj lahko prenese ekstremne temperature (do 1800 ° C) in korozivno plinsko okolje, zaradi česar je nepogrešljiv material za visokotemperaturne sisteme MOCVD, odpornih na korozije. Njegova uspešnost neposredno vpliva na doslednost procesa in donosnost rezin.

Vprašanje 2: Katere lastnosti materiala je treba prednostno določiti pri izbiri pladnje MOCVD Graphite?

Izbira prave grafitne plošče zahteva oceno njegovih fizikalnih in kemijskih lastnosti:

● Visoka čistost (nad 99,999%):

Običajno lahko nečistoče, kot so kovine ali pepel, onesnažijo epitaksialni postopek. Izbira dobavitelja za apartmaje za visoko čisto čistost, kot je Veteksemican, zagotavlja minimalne okvare v polprevodniškem epilaju.

●  Odlična toplotna stabilnost:

Med dejansko obdelavo morajo biti grafitne plošče sposobne prenesti določene toplotne udarce in ohraniti strukturno celovitost v hitri temperaturni cikli. Graphit z visoko gostoto Vekeksemican zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote, kar je ključnega pomena za enakomerno rast filma.

●  Odlična korozijska odpornost:

V procesnem okolju MOCVD je grafit na splošno izpostavljen korozivnim plinom (npr. Amoniak, vodik). Visokotemperaturno korozijsko odporne plošče MOCVD z drobnozrnato strukturo zmanjšujejo korozijo in podaljšajo življenjsko dobo.

●  Visokozmogljiva mehanska trdnost:

V epitaksialnem procesu morajo pladnji za grafit MOCVD podpirati več rezin brez izkritja. Glede na statistiko Veteksemican pri dejanski obdelavi mora biti upogibna trdnost grafitne plošče ≥50 MPa, da se prepreči razpokanje pladnja.

V3: Kako scenarij aplikacije vpliva na izbiro pladnja za grafit MOCVD?

Različni postopki MOCVD zahtevajo prilagojene zasnove grafitne plošče:

●  Epitaksialna rast LED/fotonike:

Ultra-gladke grafitne plošče MOCVD se uporabljajo v postopku epitaksije za zmanjšanje nastajanja delcev in zagotavljanje plasti brez napak.

Na primer, grafitne plošče Veteksemicon MOCVD (ali Veteksemicon grafitne plošče za MOCVD) so zasnovane za GAN in GAAS epitaxy in zagotavljajo optimizirano toplotno upravljanje.

●  Proizvodnja polprevodnikov Power:

V kombinaciji z eksperimentalno statistiko Semikera Semiconductor so plošče z izboljšano oksidacijsko odpornostjo na splošno prednostne za procese silicijevega karbida (SIC) ali galijevega nitrida (GAN).

●  Proizvodnja z visoko prepustnostjo:

Pladnji z več vodami zahtevajo natančno obdelavo, da se uskladi z zasnovo reaktorja. Prilagodljivi MOCVD grafitni pladnji iz zanesljivega dobavitelja Semikera Semiconductor se lahko ujemajo z določenimi konfiguracijami orodij.

V4: Kateri so ključni vidiki za iskanje zanesljivega dobavitelja grafitne plošče MOCVD?

●  Certificiranje in testiranje:

Preverite, ali dobavitelj zagotavlja certificiranje materiala (npr. Poročilo o čistosti, test gostote) in zagotavlja površinsko obdelavo po obdelavi (npr. Prevleka za zmanjšanje poroznosti). Kot vodilni kitajski proizvajalec opreme za polprevodniško prevleko in epitaksialno procesno opremo so vladne službe za stroge mejne poskuse certificirale grafitne plošče Veteksemican MOCVD, rezultati preskusov čistosti in gostote pa so daleč pred vrstniki.

●  Sposobnosti prilagajanja:

Vrhunski dobavitelji za občudovanje grafitov z visoko čisto čistostjo bi morali prilagoditi velikost, vzorec lukenj in prevleko, da ustrezajo vašim reaktorskim zahtevam. Tako Veexemican kot Semikera Semiconductor imata zmogljivosti za prilagoditev povezanih izdelkov in tehnologij in sta v celoti sposobni zadovoljiti vaše različne prilagojene potrebe.

●  Življenjska doba in stroškovna učinkovitost:

Medtem ko lahko cenejši grafit prihrani vnaprejšnjo stroške, bodo spodnja grafitne plošče privedle do pogoste zamenjave in izpadov, kar bo resno vplivalo na normalno proizvodno učinkovitost. Izbira grafitnih plošč in drugih kakovostnih izdelkov bo vašemu podjetju omogočila, da doseže dolgoročno zanesljivo proizvodnjo.

V5: Kako podaljšati življenjsko dobo grafitnih pladnjev MOCVD?

●  Preprečiti oksidacijo: Med cikli ogrevanja/hlajenja uporabite inertno čiščenje plina.

●  Redno čistite: Za odstranjevanje deponiranih ostankov uporabite neabrazivne metode (na primer suho jedkanje).

●  Izogibajte se mehanskemu stresu: Pladenj previdno ravnajte med nalaganjem/razkladanjem rezin.

Najboljši nasvet VETEKSemican vam:

Za MOCVD grafitne plošče, ki so odporne na visoko temperaturno korozijo, dajejo prednost dobaviteljem s strokovnim znanjem na področju polprevodniških materialov.

Preizkusite vzorce v dejanskih pogojih procesa, da preverite uspešnost.

Raziščite napredne prevleke (kot so sic prevleka, tac prevleka), da izboljšate trajnost in zanesljivost v ekstremnih okoljih.

Če želite več informacij o plošči Graphite SIC prevleke MOCVD, kliknite tukaj.

Če želite več informacij o plošči TAC prevleke MOCVD Graphite, kliknite tukaj.