Spletni meni

Iskanje izdelkov

Jezik

Izdelki

Prevleka iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.


Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.


Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja delov, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.


Naši izdelki s premazom iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.


Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina Tipična vrednost
Kristalna struktura FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
SiC prevleka Gostota 3,21 g/cm³
SiC prevleka Trdota 2500 Vickers trdota（500g obremenitev）
Velikost zrn 2~10 μm
Kemijska čistost 99,99995 %
Toplotna zmogljivost 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije 2700 ℃
Upogibna trdnost 415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost 300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
SiC prevleka Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj

SiC prevleka Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj

SiC prevleka Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj je pomemben pripomoček za epitaksialno rastno peč iz monokristalnega silicija, ki zagotavlja minimalno onesnaženje in stabilno epitaksialno rastno okolje. Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj VeTek Semiconductor s prevleko SiC ima izjemno dolgo življenjsko dobo in ponuja različne možnosti prilagajanja. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Trden nosilec sic rezin

Trden nosilec sic rezin

Trdni nosilec siC rezin Vetek Semiconductor je zasnovan za visoko temperaturno in korozijsko odporno okolje v polprevodniških epitaksialnih procesih in je primeren za vse vrste proizvodnih procesov rezin z visokimi potrebami po čistosti. Vetek Semiconductor je vodilni dobavitelj nosilcev rezin na Kitajskem in se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner v industriji polprevodnikov.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Sic prevlečen satelitski pokrov za MOCVD

Sic prevlečen satelitski pokrov za MOCVD

SIC, prevlečen s satelitskim pokrovom za MOCVD, ima nenadomestljivo vlogo pri zagotavljanju kakovostne epitaksialne rasti na rezine zaradi izjemno visoke temperaturne odpornosti, odlične korozijske odpornosti in izjemne oksidacijske odpornosti.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Trdna glava prha v obliki diska v obliki diska

Trdna glava prha v obliki diska v obliki diska

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec polprevodniške opreme na Kitajskem ter profesionalni proizvajalec in dobavitelj trdne glave tuširanja v obliki črke SIC. Naša glava prhanja v obliki diska se pogosto uporablja pri proizvodnji tankih filmov, kot je postopek CVD za zagotavljanje enakomerne porazdelitve reakcijskega plina in je ena izmed temeljnih komponent CVD peči.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
CVD sic prevlečenega nosilca rezin

CVD sic prevlečenega nosilca rezin

CVD SIC prevlečen nosilec rezin je ključna sestavina epitaksialne rastne peči, ki se pogosto uporablja v epitaksialnih pečih MOCVD. Vetek Semiconductor vam ponuja zelo prilagojene izdelke. Ne glede na to, kakšne so vaše potrebe za imetnike sodčkov, prevlečenih s KVB, dobrodošli, da se posvetujete z nami.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
CVD sic prevleka za obstrešbo

CVD sic prevleka za obstrešbo

VeTek Semiconductor CVD SiC coating barrel susceptor is the core component of the barrel type epitaxial furnace.With the help of CVD SiC coating barrel susceptor, the quantity and quality of epitaxial growth are greatly improved.VeTek Semiconductor is a professional manufacturer and supplier of SiC Coated Barrel Susceptor, and is at the leading level in China and even in the world.VeTek Semiconductor se veseli vzpostavitve tesnih zadružnih odnosov z vami v industriji polprevodnikov.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Kot profesionalec Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz silicijevega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
Novice Priporočila
Od proizvodnega procesa elektrostatičnih sesalnih skodelic do množične proizvodnje proizvodnje
Od proizvodnega procesa elektrostatičnih sesalnih skodelic do množične proizvodnje proizvodnjePoglej več >>
Kaj je kremenotni čoln?
Kaj je kremenotni čoln?Poglej več >>
Kaj je keramika iz silicijevega karbida?
Kaj je keramika iz silicijevega karbida?Poglej več >>
Tehnologija epitaksije z nizko temperaturo na osnovi GAN
Tehnologija epitaksije z nizko temperaturo na osnovi GANPoglej več >>
Kaj je elektrostatični chuck (ESC)?
Kaj je elektrostatični chuck (ESC)?Poglej več >>
Katera merilna oprema je v tovarni Fab? - Vetek Semiconductor
Katera merilna oprema je v tovarni Fab? - Vetek SemiconductorPoglej več >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept