Izdelki

Prevleka iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.


Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.


Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja delov, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.


Naši izdelki s premazom iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.


Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina Tipična vrednost
Kristalna struktura FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
SiC prevleka Gostota 3,21 g/cm³
SiC prevleka Trdota 2500 Vickers trdota(500g obremenitev)
Velikost zrn 2~10 μm
Kemijska čistost 99,99995 %
Toplotna zmogljivost 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije 2700 ℃
Upogibna trdnost 415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost 300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
CVD SiC prevleka grelni element

CVD SiC prevleka grelni element

CVD sic prevlečni ogrevalni element ima osnovno vlogo pri ogrevalnih materialih v PVD peči (nalaganje izhlapevanja). Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec ogrevalnih elementov, prevlečenih s KVB, na Kitajskem. Imamo napredne zmogljivosti za prevleko s KVB in vam lahko ponudimo prilagojene izdelke CVD SiC prevleke. Vetek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš partner v ogrevalnem elementu, prevlečenem s SiC.
Graphite Vrtelna podpora

Graphite Vrtelna podpora

Grafit z visokim čistosti, ki se vrti, ima pomembno vlogo pri epitaksialni rasti galijevega nitrida (proces MOCVD). Vetek Semiconductor je vodilni grafitni proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem. Razvili smo številne izdelke z visoko čisto čistostjo na osnovi grafitnih materialov z visoko čistostjo, ki v celoti ustrezajo zahtevam industrije polprevodnikov. Vetek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš partner pri vrtljivem grafitnem asiceptorju.
Grafitni obroč z visoko čistostjo

Grafitni obroč z visoko čistostjo

Grafitni obroč z visoko čistostjo je primeren za GAN epitaksialne rastne procese. Njihova odlična stabilnost in vrhunska zmogljivost sta se široko uporabljala. Vetek Semiconductor proizvaja in izdeluje vodilni svetovni grafitni prstan z visoko čistostjo, da bi pomagal industriji GAN epitaxy še naprej napredovati. Vetekkemi se veseli, da bo postal vaš partner na Kitajskem.
CVD sic palačinka

CVD sic palačinka

Kot vodilni proizvajalec in inovator izdelkov za obstreljevanje palačink SIC na Kitajskem. Vetek polprevodniški CVD SIC palačinka, kot komponenta v obliki diska, zasnovana za polprevodniško opremo, je ključni element za podporo tankih polprevodniških rezin med visokotemperaturnim epitaksialnim odlaganjem. Vetek Semiconductor se zavezuje k zagotavljanju kakovostnih izdelkov za zabranco palačink SIC in postati vaš dolgoročni partner na Kitajskem po konkurenčnih cenah.
Sic prevlečen z grafitnim aceptorjem za MOCVD

Sic prevlečen z grafitnim aceptorjem za MOCVD

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj SIC prevlečenega grafitnega asiceptorja za MOCVD na Kitajskem, specializiran za aplikacije SIC prevleke in epitaksialne polprevodniške izdelke za industrijo polprevodnikov. Naši Grafitni obspevci, prevlečeni z MOCVD, ponujajo konkurenčno kakovost in cene, ki služijo trgim po Evropi in Ameriki. Zavezani smo, da bomo postali vaš dolgoročni, zaupanja vredni partner pri napredovanju proizvodnje polprevodnikov.
CVD SiC prevleka Epitaxy Suspertor

CVD SiC prevleka Epitaxy Suspertor

CVD sic prevleka za Epitaxy, ki je podprvana, je orodje za natančno opredeljeno orodje, zasnovano za ravnanje in predelavo polprevodniških rezin. Ta sic prevleka Epitaxy ima ključno vlogo pri spodbujanju rasti tankih filmov, epilastov in drugih premazov ter lahko natančno nadzoruje lastnosti temperature in materiala. Dobrodošli v nadaljnjih poizvedbah.
Kot profesionalec Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz silicijevega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept