CVD sic fokusni prstan

Kot temelj sodobnih elektronskih naprav in informacijske tehnologije je polprevodniška tehnologija postala nepogrešljiv del današnje družbe. Od pametnih telefonov do računalnikov, komunikacijske opreme, medicinske opreme in sončnih celic se skoraj vse sodobne tehnologije zanašajo na proizvodnjo in uporabo polprevodniških naprav.

Ker se zahteve za funkcionalno integracijo in zmogljivost elektronskih naprav še naprej povečujejo, se tudi tehnologija polprevodniških procesov nenehno razvija in izboljšuje. Kot temeljna povezava v tehnologiji polprevodnikov, postopek jedkanja neposredno določa strukturo in značilnosti naprave.

Postopek jedkanja se uporablja za natančno odstranjevanje ali prilagajanje materiala na površini polprevodnika, da tvori želeno strukturo in vzorec vezja. Te strukture določajo delovanje in funkcionalnost polprevodniških naprav. Postopek jedkanja je sposoben doseči natančnost nanometra, ki je osnova za izdelavo integriranih vezij z visoko gostoto, visoko zmogljivo (ICS).

CVD SIC fokusni obroč je temeljna sestavina suhega jedkanja, ki se uporablja predvsem za fokusiranje plazme, da bi imel večjo gostoto in energijo na površini rezin. Ima funkcijo enakomerno porazdelitve plina. Vetek Semiconductor raste sic plast s plastjo skozi proces CVD in na koncu pridobi CVD SIC fokusni obroč. Pripravljeni CVD SIC fokusni obroč lahko popolnoma ustreza zahtevam postopka jedkanja.

CVD SIC fokusni obroč je odličen v mehanskih lastnostih, kemičnih lastnostih, toplotni prevodnosti, visoki temperaturni odpornosti, odpornosti na ionsko jedkanje itd.

● Visoka gostota zmanjšuje količino jedkanja

● Visoka vrzel v pasu in odlična izolacija

● Visoka toplotna prevodnost, koeficient nizke razširitve in odpornost na toplotni udarec

● Visoka elastičnost in dobra mehanska upornost

● Visoka trdota, odpornost na obrabo in korozijska odpornost

Vetek Semiconductor ima na Kitajskem vodilne zmogljivosti za obdelavo fokusnih obročkov s KVB. Medtem nam zrela tehnična in prodajna ekipa Vetek Semiconductor pomaga strankam zagotoviti najprimernejše izdelke za fokusni obroč. Izbira Vetek Semiconductor pomeni partnerstvo s podjetjem, ki se zavezuje k potiskanju mejaCVD silicijev karbide inovacije.

Z močnim poudarkom na kakovosti, uspešnosti in zadovoljstvu strank zagotavljamo izdelke, ki ne le izpolnjujejo, ampak presegajo stroge zahteve polprevodniške industrije. Naj vam pomagamo doseči večjo učinkovitost, zanesljivost in uspeh pri operacijah z našimi naprednimi CVD Silicon Carbide Solutions.

SEM podatki CVD SIC Film

Osnovne fizikalne lastnosti CVD sic prevleke

To polprevodnikCVD SIC Focus Ring Products Trgovine: