Izdelki

Prevleka iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.


Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.


Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja delov, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.


Naši izdelki s premazom iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.


Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina Tipična vrednost
Kristalna struktura FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
SiC prevleka Gostota 3,21 g/cm³
SiC prevleka Trdota 2500 Vickers trdota(500g obremenitev)
Velikost zrn 2~10 μm
Kemijska čistost 99,99995 %
Toplotna zmogljivost 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije 2700 ℃
Upogibna trdnost 415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost 300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Grafitni grelec vroče cone

Grafitni grelec vroče cone

Grafitni grelec VETEKSmican vroče cone je zasnovan tako, da obvlada ekstremne razmere v visokih temperaturnih pečeh in ohranja odlične zmogljivosti in stabilnost v zapletenih procesih, kot so nalaganje kemičnih hlapov (CVD), epitaksialna rast in visoko temperaturno žarjenje. VETEKSEMON se vedno osredotoča na proizvodnjo in zagotavljanje visokokakovostnih grelnikov z vročim območjem. Iskreno vas vabimo, da nas kontaktirate.
Grelec VEECO MOCVD

Grelec VEECO MOCVD

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov za grelnike Veeco MOCVD na Kitajskem. Grelec MOCVD ima odlično kemično čistost, toplotno stabilnost in korozijsko odpornost. Je nepogrešljiv izdelek v procesu kovinskega organskega kemičnega nalaganja hlapov (MOCVD). Dobrodošli v vaših nadaljnjih poizvedbah.
Veeco Mocvd Providence

Veeco Mocvd Providence

Kot vodilni proizvajalec in dobavitelj proizvajalcev za obstrežbo Veeco MOCVD na Kitajskem, Vetek Semiconductor's MOCVD obspešnik predstavlja vrhunec inovacij in inženirske odličnosti, posebej prilagojenega tako, da izpolnjuje zapletene potrebe sodobnih proizvodnih procesov polprevodnikov. Dobrodošli v nadaljnjih poizvedbah.
SIC tesnilni del

SIC tesnilni del

Kot napredni proizvajalec izdelkov in tovarna izdelka za tesnjenje SiC na Kitajskem. Vetek Semiconducto SIC tesnilni del je visokozmogljiva tesnilna komponenta, ki se široko uporablja pri obdelavi polprevodnikov in drugih ekstremnih procesih visoke temperature in visokega tlaka. Dobrodošli v nadaljnjem posvetovanju.
Silicon karbide rezine Chuck

Silicon karbide rezine Chuck

Kot vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov Silicon karbide rezine na Kitajskem ima silicijev silicijev karbid rezin Vetek Semicon Chuck neobvladljivo vlogo v procesu epitaksialne rasti z odlično visoko temperaturno odpornostjo, kemično korozijsko odpornostjo in odpornostjo na toplotni udar. Dobrodošli v nadaljnjem posvetovanju.
Silicon karbide tuš

Silicon karbide tuš

Glava tuš o silicijevem karbidu ima odlično visoko temperaturno toleranco, kemično stabilnost, toplotno prevodnost in dobro zmogljivost porazdelitve plina, ki lahko dosežejo enakomerno porazdelitev plina in izboljšajo kakovost filma. Zato se običajno uporablja v visokotemperaturnih procesih, kot so kemično odlaganje hlapov (CVD) ali fizični odlaganje hlapov (PVD). Dobrodošli na nadaljnjem posvetovanju nam, Vetek Semiconductor.
Kot profesionalec Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz silicijevega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept