Prevleka iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.

Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.

Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja delov, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.

Naši izdelki s premazom iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.

Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina	Tipična vrednost
Kristalna struktura	FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
SiC prevleka Gostota	3,21 g/cm³
SiC prevleka Trdota	2500 Vickers trdota（500g obremenitev）
Velikost zrn	2~10 μm
Kemijska čistost	99,99995 %
Toplotna zmogljivost	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura sublimacije	2700 ℃
Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost	300 W·m^-1·K^-1
Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Epi suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom SiC prevleka za rezine Satelitski pokrov s prevleko iz SiC za MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC prevleka Grelni element Satelitski nosilec rezin Aixtron SiC Coating Epi sprejemnik SiC prevleka polmesečevih grafitnih delov

View as

EPI držalo za rezine

Vetek Semiconductor je profesionalni proizvajalec imetnikov rezin EPI in tovarna na Kitajskem. EPI Držalec rezin je držalo za rezine za postopek epitaksija pri obdelavi polprevodnikov. Je ključno orodje za stabilizacijo rezin in zagotavljanje enakomerne rasti epitaksialne plasti. Široko se uporablja v opremi epitaksija, kot sta MOCVD in LPCVD. To je nenadomestljiva naprava v postopku epitaksije. Dobrodošli v nadaljnjem posvetovanju.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Aixtron satelitski nosilec rezin

Satelitski nosilec rezin Aixtron Aixtron Vetek Semiconductor je nosilec rezin, ki se uporablja v opremi Aixtron, ki se uporablja predvsem v procesih MOCVD, in je še posebej primeren za visokotemperaturne in visoko natančne procesorske procese polprevodniške procese. Prevoznik lahko zagotovi stabilno podporo za rezine in enakomerno odlaganje filma med MOCVD epitaksialno rastjo, kar je bistvenega pomena za postopek odlaganja plasti. Dobrodošli v nadaljnjem posvetovanju.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

LPE Halfmoon Sic Epi reaktor

Vetek Semiconductor je profesionalni proizvajalec izdelkov reaktorja LPE Halfmoon EPI, inovator in vodja na Kitajskem. LPE Halfmoon SIC EPI reaktor je naprava, ki je posebej zasnovana za proizvodnjo visokokakovostnih epitaksialnih plasti silicijevega karbida (SIC), ki se uporabljajo predvsem v industriji polprevodnikov. Dobrodošli v vaših nadaljnjih poizvedbah.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

SiC Coating Epi sprejemnik

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator izdelkov SiC Coating Epi Susceptor na Kitajskem. Že vrsto let se osredotočamo na različne izdelke SiC Coating, kot so SiC Coating Epi Susceptor, SiC coating ALD susceptor itd. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Krilo s prevleko iz CVD SiC

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in vodja krila, prevlečenega s KVB SiC na Kitajskem. Naši glavni izdelki CVD SiC prevleke vključujejo krilo, prevlečeno s CVD SiC, CVD SiC obroč. Veselimo se vašega stika.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

UV LED Epi sprejemnik

Kot vodilni kitajski proizvajalec in vodja izdelkov za polprevodnike za polprevodnike se je Vetek Semiconductor osredotočal na različne vrste izdelkov, kot so UV LED EPI obspešnik, SIC prevleka za obloge, MOCVD obspešnik. VETEKSEMI podpira prilagojene storitve izdelkov in se veseli vašega posvetovanja.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Kot profesionalec Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz silicijevega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.

koda QR

O nas

Izdelki

Kontaktiraj nas

Telefon
+86-18069220752
faks
+86-579-87223657
E-naslov
anny@veteksemi.com
Naslov
Wangda Road, Ulica Ziyang, okrožje Wuyi, mesto Jinhua, provinca Zhejiang, Kitajska

Spletni meni

Iskanje izdelkov

Jezik

Izhod iz menija

Prevleka iz silicijevega karbida

Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

EPI držalo za rezine

Aixtron satelitski nosilec rezin

LPE Halfmoon Sic Epi reaktor

SiC Coating Epi sprejemnik

Krilo s prevleko iz CVD SiC

UV LED Epi sprejemnik

Pošlji povpraševanje

koda QR

O nas

Izdelki

Kontaktiraj nas

Telefon

faks

E-naslov

Naslov