CVD SiC prevleka grelni element

CVD SiC prevlečen ogrevalni element se uporablja predvsem v opremi PVD (fizično odlaganje hlapov). V procesu izhlapevanja se material segreje, da se doseže izhlapevanje ali brizganje, na koncu pa se na podlagi nastane enakomerni tanek film.

Ⅰ.Določena aplikacija

Tanki film nalaganje: CVD sic prevlečni ogrevalni element se uporablja pri viru izhlapevanja ali viru za brizganje. Z segrevanjem element segreva material, ki ga je treba odložiti na visoko temperaturo, tako da se njeni atomi ali molekule ločijo od površine materiala in s tem tvorijo hlape ali plazmo. Naša sic prevleka, ki temelji na grelnih elementih, lahko tudi neposredno segreje nekaj kovinskih ali keramičnih materialov, da jih izhlapi ali sublimira v vakuumskem okolju za uporabo kot vir materiala v procesu PVD. Ker ima struktura koncentrične utore, lahko bolje nadzoruje trenutno pot in porazdelitev toplote, da se zagotovi enakomernost segrevanja.

Shematski diagram postopka izhlapevanja PVD

Ⅱ.Delovno načelo

Uporno ogrevanje, ko tok preide skozi uporno pot grelnika, prevlečenega s sic, nastane joule toplota in tako doseže učinek ogrevanja. Koncentrična struktura omogoča, da se tok enakomerno porazdeli. Naprava za nadzor temperature je običajno priključena na element za spremljanje in prilagoditev temperature.

Ⅲ.Materialno in konstrukcijsko zasnovo

CVD SiC prevlečen ogrevalni element je izdelan iz grafita z visoko čisto čistostjo in sic prevleke, da se spopade z visokotemperaturnim okoljem. Sam z visoko čistočo je bil široko uporabljen kot material toplotnega polja. Ko se na grafitni površini uporabi plast prevleke po metodi CVD, se njegova visokotemperaturna stabilnost, korozijska odpornost, toplotna učinkovitost in druge značilnosti še izboljšajo.

Zasnova koncentričnih utorov omogoča, da tok tvori enakomerno zanko na površini diska. Dosega enakomerno porazdelitev toplote, se izogne ​​lokalnemu pregrevanju, ki ga povzroča koncentracija na določenih območjih, zmanjša dodatno izgubo toplote, ki jo povzroči trenutna koncentracija, in tako izboljša učinkovitost segrevanja.

Ogrevalni element CVD SiC prevleka je sestavljen iz dveh nog in telesa. Vsaka noga ima nit, ki se poveže z napajanjem. Vetek Semiconductor lahko naredi enodelne dele ali razcepljene dele, to je, da se noge in telo izdelujejo ločeno in nato sestavljajo. Ne glede na to, kakšne zahteve imate za grelnik, prevlečenega s CVD, se nasvetujte. Veeksemi lahko ponudi izdelke, ki jih potrebujete.

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke: