TaC Coating Grelec

Grelec za prevleko TAC je visokozmogljiv ogrevalni element, ki se pogosto uporablja v procesih izdelave polprevodnikov. Njegova površina je prevlečena z materialom Tantalum karbida (TAC), ki daje grelniku odlično visoko temperaturno odpornost, kemično korozijsko odpornost in odlično toplotno prevodnost.

Glavne uporabe TaC Coating Heater v proizvodnji polprevodnikov vključujejo:

 ✔ Med postopkom epitaksialne rasti galijevega nitrida (GaN) TaC Coating Heater zagotavlja natančno nadzorovano visokotemperaturno okolje, ki zagotavlja, da se epitaksialna plast nanese na podlago z enakomerno hitrostjo in visoko kakovostjo. Njegova stabilna toplotna moč pomaga doseči natančen nadzor tankoslojnih materialov in s tem izboljša delovanje naprave.

 ✔ Poleg tega se v procesu kovinskega organskega kemičnega nalaganja hlapov (MOCVD) v kombinaciji z visoko temperaturno odpornostjo in toplotno prevodnostjo prevleke TAC običajno uporablja za ogrevanje reakcijskega plina in zagotavljanje enakomerne porazdelitve toplote, IT Spodbuja svojo kemijsko reakcijo na površini substrata in s tem izboljša enotnost epitaksialne plasti in tvori visokokakovosten film.

 ✔ Kot vodilni v panogi v izdelkih za grelne izdelke TAC, Vetek Semiconducto vedno podpira storitve prilagajanja izdelkov in zadovoljive cene izdelkov. Ne glede na to, kakšne so vaše posebne zahteve, bomo ustrezali najboljši rešitvi za potrebe vašega grelnika TAC in se bomo kadar koli veselili vašega posvetovanja.