Guide Guide Tantalum karbide

To polprevodnikTantalum Carbide Guide Ringje izdelan izgrafitinprevlečen s Tantalum karbidom, kombinacija, ki izkorišča najboljše lastnosti obeh materialov, da se zagotovi vrhunske zmogljivosti in dolgoživost.

TheTac prevlekaNa vodniku Tantalum Carbide zagotavlja, da ostane kemično inerten v reaktivnih atmosferih sic kristalnih rastnih peči, ki pogosto vključujejo pline, kot so vodik, argon in dušik. Ta kemična inertnost je ključnega pomena za preprečevanje kakršne koli kontaminacije rastočega kristala, kar bi lahko privedlo do napak in zmanjšanih zmogljivosti končnih polprevodniških produktov. Poleg tega toplotna stabilnost, ki jo zagotavlja TAC prevlekaSIC kristalna rast, običajno presega 2000 ° C.

Poleg tega kombinacija grafita in TAC -a v obroču Tantalum karbide optimizira toplotno upravljanje znotraj peči kristalne rasti. Visoka toplotna prevodnost grafita učinkovito porazdeli toploto, preprečuje žarišča in spodbuja enakomerno rast kristalov. Medtem je prevleka za karbid Tantalum služi kot toplotna pregrada, ki ščiti grafitno jedro pred neposredno izpostavljenostjo visokim temperaturam in reaktivnim plinom. Ta sinergija med jedrnim in prevlečnim materialom povzroči vodilni obroč, ki ne samo da vzdrži težke pogoje rasti kristalov SIC, ampak tudi poveča splošno učinkovitost in kakovost postopka.

Mehanske lastnosti karbida Vetek Semiconductor Tantalum močno zmanjšujejo obrabo na obroču Tantalum karbid. To je ključnega pomena zaradi ponavljajoče se naraveproces rasti kristala, ki izpostavlja vodilni obroč pogostih toplotnih ciklov in mehanskih napetosti. Tantalum karbid trdota in odpornost proti obrabi zagotavljajo, da vodilni obroč v dolgih obdobjih ohranja svojo strukturno celovitost in natančne dimenzije, kar zmanjšuje potrebo po pogostih zamenjavah in zmanjšanje izpadov v proizvodnem procesu.

Vodnik za prevleko za polprevodniške prevleke Vetek Semiconductor Tantalum je bistvena sestavina v industriji polprevodnikov, posebej zasnovan za rastKristali iz silicijevega karbida. Njegova zasnova izkorišča prednosti grafita in karbida Tantalum, da bi prinesla izjemne zmogljivosti v visokotemperaturnih okoljih z visokim stresom. TAC prevleka zagotavlja kemijsko inertnost, mehansko vzdržljivost in toplotno stabilnost, ki so ključni za proizvodnjo visokokakovostnih kristalov SIC. Z ohranjanjem njene integritete in funkcionalnosti v ekstremnih pogojih vodilni obroč podpira učinkovito rast in brez napak, ki prispevajo k napredku polprevodniških naprav z visoko močjo in visoko frekvenco.

Prevleka Tantalum karbida (TAC) na mikroskopskem prerezu:

Fizikalne lastnosti TAC prevleke: