Nosilec rezin za VEECO MOCVD (LED epitaksija)

Lastnosti izdelka:

1. Grafitna osnova visoke čistosti z gosto plastjo CVD SiC
2. Dobra toplotna enotnost za stabilno LED epitaksijo
3. Odporen na NH₃, HCl in druge korozivne pline, ki se uporabljajo v procesu
4. Nizko odpadanje delcev in dolga življenjska doba
5. Oblike žepov je mogoče prilagoditi za različne velikosti rezin in reaktorske platforme
6. Dobro deluje pri dolgotrajnem delovanju MOCVD pri visokih temperaturah

Aplikacije:
Ti nosilci rezin se pogosto uporabljajo pri epitaksiji LED in sestavljenih polprevodnikov, vključno z:

• GaN LED epitaksija
• Modro-zelena LED epitaksija
• Globoka UV LED rast
• GaN epitaksija na osnovi Si
• Splošna proizvodnja sestavljenih polprevodnikov

Nosilne rešitve po meri ustrezajo več platformam LED MOCVD, kot so:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Tehnične prednosti:

1. CVD SiC prevlekatehnologija, ki vam daje dobro gostoto in čistost
2. Spreminjanje debeline prevleke znotraj ±10 μm – pomaga, da toplotna učinkovitost ostane stabilna
3. CNC obdelava do 3 μm natančnosti za dobro prileganje rezin in stabilnost vrtenja
4. Premaz se dobro drži in je odporen proti razpokam po ponavljajočih se visokotemperaturnih ciklih MOCVD
5. Brez težav obvlada NH₃, HCl in druga težka okolja epitaksije
6. Nizko nastajanje delcev in čista površina za podporo visokemu izkoristkuLED epitaksija
7. Lahko prevleče velike ali prilagojene velikosti za različne reaktorske platforme in postavitve rezin
8. Dolgoletne izkušnje zdeli po meri, prevlečeni z grafitom in SiCza LED in sestavljeno polprevodniško epitaksijo

pogosta vprašanja:
1. Kaj počne nosilec rezin vMOCVDLED epitaksija?

O: Drži in vrti rezine znotraj reaktorja MOCVD in pomaga vzdrževati enakomerno temperaturo med epitaksialno rastjo.

2. Zakaj za MOCVD uporabljati grafitne nosilce rezin, prevlečene s SiC?

O: TheCVD SiC prevlekadaje boljšo odpornost proti koroziji, toplotno stabilnost in vzdržljivost. Pomaga tudi zmanjšati kontaminacijo z delci pri visokotemperaturni epitaksiji.

3. Ali Vetek Semiconductor izdeluje nosilce rezin po meri?
O: Da. Nosilce lahko oblikujemo po meri glede na vašo reaktorsko platformo, velikost rezin, postavitev žepa in druge potrebe procesa.