Aixtron MOCVD receptor

Suceptorji, ki jih proizvajaTo polprevodnikso izdelani iz grafitne podlage in prevleke iz silicijevega karbida (SiC). Glede na večjo odpornost proti obrabi, odpornost proti koroziji in izjemno visoko trdoto materiala SiC je še posebej primeren za uporabo v težkih procesnih okoljih. Zato je mogoče susceptorje, ki jih proizvaja Vetek Semiconductor, neposredno uporabiti v visokotemperaturnih procesih MOCVD brez dodatne površinske obdelave.

Susceptorji so ključne komponente v proizvodnji polprevodnikov, zlasti v opremi MOCVD za postopke nanašanja tankih filmov. Glavna vloga odAixtron: Torej podporav procesu MOCVD je prenašanje polprevodniških rezin, zagotavljanje enotnega in visokokakovostnega nanašanja tankih filmov z zagotavljanjem enakomerne porazdelitve toplote in reakcijskega okolja, s čimer se doseže visokokakovostna proizvodnja tankih filmov.

Aixtron MOCVD receptorse običajno uporablja za podporo in popravljanje baze polprevodniških rezin, da se zagotovi stabilnost rezin med postopkom odlaganja. Obenem je površinska prevleka aixtron mocvd zavzetosti narejena iz silicijevega karbida (sic), zelo toplotno prevodnega materiala. SIC prevleka zagotavlja enakomerno temperaturo na površini rezin, enakomerno ogrevanje pa je bistvenega pomena za pridobivanje visokokakovostnih filmov.

Poleg tegaAixtron MOCVD receptorproizvajamo, igra večjo vlogo pri nadzoru pretoka in distribucije reaktivnih plinov z optimizirano zasnovo materialov. Izogibajte se vrtinčnim tokovom in temperaturnim gradientom, da dosežete enakomerno nanašanje filma.

Še pomembneje pa je, da ima v postopku MOCVD material silicijevega karbida (sic) prevleka proti koroziji, zatoTo polprevodnik'sAixtron MOCVD receptorlahko tudi prenese visoke temperature in korozivne pline.

Osnovne fizikalne lastnostiSic prevleka:

VeTek Semiconductor Wafer Boat trgovine:

Pregled industrijske verige polprevodniških čipov Epitaxy: