CVD TAC premaz

CVD TaC prevleka (prevleka s kemičnim naparjevanjem tantalovega karbida) je premazni izdelek, ki je v glavnem sestavljen iz tantalovega karbida (TaC). Prevleka TaC ima izjemno visoko trdoto, odpornost proti obrabi in odpornost na visoke temperature, zaradi česar je idealna izbira za zaščito ključnih komponent opreme in izboljšanje zanesljivosti procesa. Je nepogrešljiv material pri obdelavi polprevodnikov.

Izdelki za prevleko TAC CVD se običajno uporabljajo v reakcijskih komorah, nosilcih rezin in opremi jedkanja ter v njih igrajo naslednje ključne vloge.

Prevleka CVD TaC se pogosto uporablja za notranje komponente reakcijskih komor, kot so substrati, stenske plošče in grelni elementi. V kombinaciji z odlično odpornostjo na visoke temperature se lahko učinkovito upre eroziji visokih temperatur, korozivnih plinov in plazme, s čimer učinkovito podaljša življenjsko dobo opreme in zagotovi stabilnost postopka in čistost proizvodnje izdelka.

Poleg tega imajo nosilci rezin, prevlečenih s TAC (na primer kremenčevi čolni, napeljave itd.), Imajo tudi odlično toplotno odpornost in kemično korozijsko odpornost. Nosilec rezin lahko zagotovi zanesljivo podporo rezine pri visokih temperaturah, preprečuje kontaminacijo rezin in deformacijo ter tako izboljša celoten donos čipa.

Poleg tega se prevleka za TAC Vetek Semiconductor pogosto uporablja tudi v različnih opremi jedkanja in tankih filmov, kot so plazemski jedri, sistemi kemičnih pare itd. V teh procesorskih sistemi , s čimer zagotavlja natančnost in ponovljivost postopka.

Ne glede na vaše posebne zahteve bomo poiskali najboljšo rešitev za vaše potrebe po prevleki CVD TAC in se veselimo vašega posveta kadar koli.

VeTek Semiconductor CVD TAC Coating trgovine z izdelki:

Pregled industrijske verige polprevodniških čipov Epitaxy: