Podpornik EPI

Vetek Semiconductor je profesionalni vodja Kitajske EPI, ki je bil izveden, planetarni tugor in grafitni proizvajalec podpornega podpora. in Naša podpora EPI je pomemben sestavni delEpitaksialna rastV procesu izdelave polprevodnikov. Njegova glavna funkcija je podpirati in segrevati rezine, tako da lahko kakovostno epitaksialno plast enakomerno gojimo na površini rezin.

Vetek polprevodniki EPI obspevci so običajno izdelani iz grafita visoke čistosti in prevlečeni s plastjo silicijevega karbida (sic).Ta zasnova ima naslednje ključne prednosti:

● Stabilnost visoke temperature: EPI obspevnik lahko ostane stabilen v visokotemperaturnem okolju, kar zagotavlja enakomerno rast epitaksialne plasti.

● Korozijska odpornost: SIC prevleka ima odlično korozijsko odpornost in se lahko upira eroziji kemičnih plinov, pri čemer podaljša življenjsko dobo pladnja.

● toplotna prevodnost: Visoka toplotna prevodnost SIC materiala zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature rezin med ogrevanjem in s tem izboljša kakovost epitaksialne plasti.

● Ujemanje koeficienta toplotne ekspanzije: Koeficient toplotne ekspanzije SIC je podoben kot pri grafitu, pri čemer se izogiba problemu odstranjevanja prevleke zaradi toplotne ekspanzije in krčenja.

Osnovne fizikalne lastnostiCVD sic prevleka:

CVD SIC PREDSTAVLJA:

Pregled industrijske verige polprevodniških čipov Epitaxy: