Obroč, prevlečen s SiC, za navpično peč

V navpičnih pečh je uporaba obročenih obročev SIC pogosta rešitev, ki se uporablja predvsem pri visokotemperaturnih postopkih toplotne obdelavePolprevodniški rezini. Obroči, prevlečeni s SiC za vertikalno peč, so visoko zmogljive komponente, odporne na visoke temperature, ki se uporabljajo za podporo ali zaščito rezin za zagotovitev stabilnosti in zanesljivosti procesa.

Funkcije vertikalnega peči sic obroč

● Funkcije

Podporna vloga. Uporablja se za podporo rezine za zagotovitev njihove stabilnosti in natančnega položaja v visokotemperaturnih pečh.

●  Zaščita pred korozijo

Preprečite, da bi korozivni plini ali kemikalije korodirali osnovni material.

●  Zmanjšajte onesnaženje

SIC prevleka z visoko čistomo lahko učinkovito prepreči odstranjevanje delcev in nečistoče, da se zagotovi čistoča procesa.

●  Visoka temperaturna odpornost

Ohranite odlične mehanske lastnosti in dimenzijsko stabilnost v okoljih z visoko temperaturo (običajno nad 1000 °C).

Značilnosti SiC prevlečenega obroča za navpično peč

●  Visoka trdota in moč

SiC materiali imajo odlično mehansko trdnost in lahko prenesejo visoke temperaturne obremenitve v peči.

●  Dobra toplotna stabilnost

Visoka toplotna prevodnost SIC in nizka koeficient toplotne ekspanzije pomagata zmanjšati toplotni stres.

●  Močna kemična stabilnost

SIC prevleke se lahko upirajo koroziji v oksidacijskem, kislem ali alkalnem okolju.

●  Kontaminacija z nizko vsebnostjo delcev

Gladka površina zmanjšuje možnost nastajanja delcev, kar je še posebej primerno za ultra čisto okolje proizvodnje polprevodnikov.

Uporablja se za difuzijo, oksidacijo, žarjenje in druge postopke v navpičnih pečeh za podporo silicijevim rezinam in preprečevanje kontaminacije z delci med toplotno obdelavo.

Proizvodni materiali in procesi

●  Podlaga: izdelana iz visokokakovostnega SGL grafita, kakovost je zagotovljena.

● Premaz: Silicijev karbidni premaz se na površino grafita nanese s kemičnim odlaganjem hlapov (CVD).

●  Debelina prevleke je običajno med 50~500 μm, ki se prilagodi glede na zahteve uporabe.

● Kemični nalaganje hlapov sic ima večjo čistost in gostoto ter boljšo trajnost.

Izberite ustreznoSiC prevlekaobroč glede na premer silicijeve rezine v peči in specifikacije nosilca. Lahko ga prilagodimo za vas. Visoka čistost, gosta prevleka je bolj trpežna in manj onesnažujoča. Regularno nadomestite glede na pogostost uporabe in postopkov, da se prepreči kontaminacija ali okvara podpore zaradi staranja prevleke.

Kot profesionalni vertikalni peč, prevlečen z obrokom in proizvajalec na Kitajskem, se Vetek Semiconductor že dolgo zavezuje k zagotavljanju napredne vertikalne tehnologije peči in rešitev izdelkov za industrijo polprevodnikov. Iskreno se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Kristalna struktura filma CVD sic

Osnovne fizikalne lastnosti CVD sic prevleke

To polprevodnikTrgovine z vertikalnimi peči sic: