Grelec VEECO MOCVD

Grelnik VeTeksemi VEECO MOCVD je izdelan iz grafitnega materiala visoke čistosti z vsebnostjo nečistoč, strogo nadzorovano pod 5 ppm, in prevlečen s silicijevim karbidom ultra visoke čistosti (SiC) s čistostjo več kot 99,99995 % skoziProces kemičnega odlaganja pare (CVD). Ta kombinacija materialov daje grelniku vrsto ključnih lastnosti, ki zagotavljajo njegovo odlično delovanje vOdlaganje kovinskih organskih kemičnih hlapov (MOCVD)postopek.

Ena od izjemnih lastnosti grelnika VEECO MOCVD je njegova izredna kemična čistost. Grafitno jedro visoke čistosti močno zmanjša potencialni vnos kontaminantov v visokotemperaturnem procesu, kar zagotavlja ultra čist postopek nanašanja filma. TheCVD SiC prevlekaOmogoča dodatno zaščito za grelec, ki tvori močno oviro za preprečevanje kemičnih reakcij, ki lahko poškodujejo kakovost filma. Ta neprimerljiva čistost je bistvenega pomena za izdelavo visokozmogljivih, zanesljivih polprevodniških naprav.

Hkrati grelec izkazuje izjemno visoko toplotno stabilnost in učinkovitost. SiC ima visoko tališče in odlično toplotno prevodnost, kar omogoča grelniku učinkovito upravljanje in prevajanje toplote. To zagotavlja enakomerno segrevanje po substratu, kar posledično pomaga doseči enakomerno nanašanje filma in zmanjša napake, ki jih povzročajo toplotni gradienti. Takšna toplotna učinkovitost je še posebej pomembna za natančno proizvodnjo.

Grelec MOCVD VEECO se prav tako odlikuje tudi pri električnih zmogljivostih. Njegovo visoko čisto čistostno grafitno jedro ima odlično električno prevodnost, kar omogoča grelniku, da obravnava visoke potrebe po električni obremenitvi. Ta stabilna električna zmogljivost omogoča grelniku, da ohrani natančen nadzor nad temperaturo in hitrostjo nanašanja v pogojih z visoko obremenitvijo, kar je ključnega pomena za zagotavljanje doslednih pogojev procesa in izboljšanje učinkovitosti proizvodnje polprevodnikov.

Površinska zasnova grelnika je bila skrbno optimizirana tako, da ima visoko emisivnost substrata, kar znatno izboljša učinkovitost sevalnega prenosa toplote. Sposobnost enakomerne ogrevanja je ključni dejavnik pri zagotavljanju dosledne debeline in značilnosti nanašanja filma. Visoka zasnova površinske emisijske površine prav tako izboljša celotno toplotno učinkovitost grelnika in s tem zmanjša porabo energije in zniža obratovalne stroške.

Kar zadeva vzdržljivost, grelnik VeTeksemi VEECO MOCVD izkazuje odlično odpornost proti koroziji, odpornost proti oksidaciji in mehansko trdnost. Prevleka CVD SiC zagotavlja trdno oviro za korozivne pline in kemikalije, ki so pogosti v procesih MOCVD, s čimer podaljša življenjsko dobo opreme in zmanjša potrebe po vzdrževanju in stroške zamenjave. Njegova odpornost proti oksidaciji zagotavlja, da grelnik ostane stabilen pri visokih temperaturah brez poslabšanja delovanja, kar zagotavlja dolgoročno stabilnost.

Poleg tega visoka mehanska trdnost VeTeksemijevega grelnika MOCVD omogoča, da prenese fizične obremenitve, ki nastanejo med termičnim kroženjem in ravnanjem s substratom. Njegova robustnost zmanjšuje tveganje mehanske okvare in zagotavlja zanesljivo delovanje opreme v težkih procesnih pogojih.

Kot napredni proizvajalec in dobavitelj izdelkov za grelnike VEECO MOCVD VeekeMi ponuja tudi različne kakovostne grelne izdelke, kot soTaC Coating Grelec, grafitni grelec s keramično prevleko iz silicijevega karbida, grelec s keramično prevleko iz silicijevega karbida, itd. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne in prilagodljive tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Iskreno upamo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.