Končni efektor za ravnanje z režami

Končni efektor za ravnanje z rezinami je vrsta robotske roke, zasnovane posebej za industrijo polprevodnikov, ki se običajno uporablja za ravnanje in prenosrezine. Proizvodno okolje rezin zahteva izjemno visoko čistočo, saj lahko drobni delci ali onesnaževalci med obdelavo ne uspejo. 

Keramični materiali se pri izdelavi teh rok pogosto uporabljajo zaradi odličnih fizikalnih in kemijskih lastnosti.

Čistost in sestava

Čistost glinice je običajno ≥99,9%, kovinske nečistoče (kot so MgO, CAO, SiO₂) pa se nadzirajo v 0,05% do 0,8%, da se izboljša odpornost na jedkanje v plazmi.

α-fazna alumina (korundna struktura) je glavna, kristalna vrsta je stabilna, gostota je 3,98 g/cm³, dejanska gostota po sintranju pa 3,6 ~ 3,9 g/cm³.

Mehanska lastnost

Trdota: Mohs trdota 9 ~ 9.5, trdota Vickers 1800 ~ 2100 HV, višja od nerjavečega jekla in zlitine.

Upogibna moč: 300 ~ 400 MPa, ki lahko prenese mehanski stres pri visoki hitrosti ravnanja z rezinami.

Elastični modul: 380 ~ 400 GPA, da se zagotovi, da je ročna roka toga in se ni enostavno deformirati.

Toplotne in električne lastnosti

Toplotna prevodnost: 20 ~ 30 W/(M · K), še vedno ohranjate stabilno izolacijo (upor> 10¹⁴ ω · cm).

Temperaturna odpornost: Dolgotrajna temperatura lahko doseže 850 ~ 1300 ℃, primerna za vakuumsko visoko temperaturno okolje.

Površinska značilnost

Površinska hrapavost: RA≤ 0,2 μm (po poliranju), da se izognete praskam rezin

Vakuumska adsorpcijska poroznost: Votla struktura, dosežena z izostatičnim stiskanjem, poroznostjo <0,5%.

Drugič, lastnosti konstrukcije

Lahka in optimizacija moči

Z integriranim postopkom oblikovanja je teža le 1/3 kovinske roke, kar zmanjšuje napako pozicioniranja, ki jo povzroča vztrajnost.

Končni učinek je zasnovan kot prijemal ali vakuumsko absorber, kontaktna površina pa je prevlečena z antistatično prevleko, da prepreči, da bi rezina onesnažila 710 z elektrostatično adsorpcijo.

Odpornost proti onesnaževanju

Allumina z visoko čistostjo je kemično inertna, ne sprošča kovinskih ionov in ustreza standardu čistoče F47 (onesnaževanje delcev <10 ​​ppm).

Tretjič, zahteve za proizvodni postopek

Oblikovanje in sintranje

Izostatično stiskanje (tlak 200 ~ 300 MPa), da se zagotovi gostota materiala> 99,5%.

Visoko temperaturno sintranje (1600 ~ 1800 ℃), nadzor velikosti zrn v 1 ~ 5 μm, da se ravnovesje trdnost in žilavost.

Natančno obdelava

Obdelava diamantnega brušenja, dimenzijska natančnost ± 0,01 mm, ploščat ≤ 0,05 mm/m

Semicon Trgovine za izdelke: