Fokusni prstan v plazmi

Na področju proizvodnje rezin ima ključno vlogo Vetek Semiconductor's Focus Ring. To ni le preprosta komponenta, ampak ima ključno vlogo v procesu jedkanja v plazmi. Prvič, plazemski fokusni obroč Etchig je zasnovan tako, da zagotavlja, da je rezina trdno zadržana v želenem položaju, s čimer zagotavlja natančnost in stabilnost postopka jedkanja. Z držanjem rezine na mestu učinkovito ohranja enotnost gostote plazme, kar je bistvenega pomena za uspehpostopek jedkanja.

Poleg tega ima fokusni obroč pomembno vlogo tudi pri preprečevanju stranske kontaminacije rezin. Kakovost in čistost rezin sta ključnega pomena za proizvodnjo čipov, zato je treba sprejeti vse potrebne ukrepe, da se rezine ostanejo čiste v celotnem postopku jedkanja. Fokusni obroč učinkovito preprečuje, da bi zunanje nečistoče in onesnaževalce vstopile na stranice površine rezin, s čimer zagotavljajo kakovost in zmogljivost končnega izdelka.

V preteklosti,osredotočene prstaneso bili v glavnem narejeni iz kremena in silicija. Vendar pa se s povečanjem suhega jedkanja v napredni proizvodnji rezin narašča tudi povpraševanje po fokusnih obročev iz silicijevega karbida (SIC). V primerjavi s čistimi silikonskimi obroči so sic obroči bolj trpežni in imajo daljšo življenjsko dobo, s čimer se zmanjšajo proizvodni stroški. Silicijeve obroče je treba zamenjati vsakih 10 do 12 dni, medtem ko se sic obroči zamenjajo na vsakih 15 do 20 dni. Trenutno nekatera velika podjetja, kot je Samsung, preučujejo uporabo keramike borovega karbida (B4C) namesto SIC. B4C ima večjo trdoto, zato enota traja dlje.

V opremi za jedkanje v plazmi je namestitev fokusnega obroča potrebna za plazemsko jedkanje površine substrata na bazi v plovilu za čiščenje. Osredotočevalni obroč obkroža substrat s prvo regijo na notranji strani svoje površine, ki ima majhno povprečno hrapavost površine, da prepreči reakcijske produkte, ustvarjene med jedcem. 

Obenem ima drugo regijo zunaj prve regije veliko povprečno hrapavost površine, da spodbudi reakcijske produkte, ustvarjene med postopkom jedkanja, da se zajamejo in odlagajo. Meja med prvo in drugo regijo je del, pri katerem je količina jedkanja razmeroma pomembna, opremljena z fokusnim obročem v plazemski napravi jedkanico, plazemsko jedkanje pa se izvaja na podlagi.

Trgovine z izdelki Veexemicon: