Sic prevlečen nosilec rezin za jedkanje

Jedrna uporaba nosilca rezin, prevlečenih s sic

1. GAN Film Rast in jedkanje v proizvodnji LED

Nosilci, prevlečeni s sic (na primer nosilec jedkanic PSS), se uporabljajo za podporo safirnih substratih (vzorčasti safirski substrat, PSS) v LED produkciji in izvajanju kemičnih nalaganja hlapov (MOCVD) filmov Gallium nitrida (GAN) pri visokih temperaturah. Nosilec se nato odstrani s postopkom mokrega jedkanja, da tvori površinsko mikrostrukturo za izboljšanje učinkovitosti ekstrakcije svetlobe.

Ključna vloga: Nosilec rezin mora prenesti temperature do 1600 ° C in kemično korozijo v okolju jedkanja v plazmi. Visoka čistost (99.99995%) in gostota sic premaza preprečujeta kontaminacijo kovin in zagotavljata enotnost filma GAN.

2. Postopek polprevodnika plazme/suhega jedkanja

VICP (induktivno povezana plazma), Nosilci, prevlečeni s sic, dosežejo enakomerno porazdelitev toplote z optimizirano zasnovo pretoka zraka (na primer način laminarnega pretoka), se izogibajo difuziji nečistoč in izboljšajo natančnost jedkanja. Na primer, nosilec ICP jedkanic, prevlečenega s SIC, lahko prenese sublimacijsko temperaturo 2700 ° C in je primeren za visokoenergijsko plazemsko okolje.

3. Proizvodnja sončnih celic in napajalnih naprav

Nosilci sic dobro delujejo v visokotemperaturni difuziji in jedkanju silicijevih rezin v fotonapetostnem polju. Njihov nizki koeficient toplotne ekspanzije (4,5 × 10⁻⁶/k) zmanjšuje deformacijo, ki jo povzroča toplotni stres, in podaljša življenjsko dobo.

Fizikalne lastnosti in prednosti nosilca rezin, prevlečenih s sic, za jedkanje

1. toleranca do ekstremnih okolij:

Stabilnost visoke temperature:CVD sic prevlekalahko dlje časa deluje v zraku 1600 ° C ali 2200 ° C, kar je veliko večje od tradicionalnih kremenčev ali grafitnih nosilcev.

Korozijska odpornost: SIC ima odlično odpornost na kisline, alkalije, soli in organska topila ter je primerna za proizvodne linije polprevodnikov s pogostim kemičnim čiščenjem.

2. Termične in mehanske lastnosti:

Visoka toplotna prevodnost (300 W/mk): Hitro odvajanje toplote zmanjšuje toplotne gradiente, zagotavlja enakomernost temperature rezin in se izogne ​​odstopanju debeline filma.

Visoka mehanska trdnost: upogibna trdnost doseže 415 MPa (sobna temperatura) in še vedno vzdržuje več kot 90% trdnosti pri visoki temperaturi, pri čemer se izogne ​​razpokanju nosilca ali delaminacije.

Površinska zaključek: SSIC (tlačni sintrani silicijev karbid) ima nizko hrapavost površine (<0,1 μm), zmanjšanje kontaminacije delcev in izboljšanje donosa rezin.

3. Optimizacija materiala:

Nizka razlika v termični ekspanziji med grafitnim substratom in siC prevleko: s prilagajanjem postopka prevleke (kot je odlaganje gradienta) se napetost vmesnika zmanjša in premaz prepreči luščenje.

Visoka čistost in nizke napake: postopek CVD zagotavlja čistost prevleke> 99.9999%, pri čemer se izogne ​​kontaminaciji kovinskih ionov občutljivih procesov (kot je proizvodnja naprav SIC).

Natoc Fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke

CVD sic prevleka kristalna struktura

Veterinarske trgovine Sexemic