Sic prevlečen e-chack

Ko Gallium nitrid (GAN) postane temeljni material polprevodnika tretje generacije, se njena uporaba v visokofrekvenčnih, moči in optoelektronskih poljih še naprej širijo, kot so 5G komunikacijske bazne postaje, moči in LED naprave. Vendar pa je treba pri proizvodnji polprevodnikov, zlasti v procesu jedkanja, rezine podvržene visoki temperaturi, visokem kemičnem okolju korozije in izjemno visoke natančnosti, ki predlagajo izjemno visoke tehnične standarde za orodja za ležaj.

Keramične palete SIC Semiconductor Vetek Semiconductor so zasnovane za jedkanje gan rezin in nudijo visoko čistost, odlično toploto in kemično odpornost, ki podpirajo vaš proizvodni postopek. Primeren je za postopek jedkanja v plazmi (ICP/RIE) in je idealna izbira v sodobni opremi za proizvodnjo polprevodnikov.

Jedrne prednosti

1. Keramični material visoke čistosti sic

Kemična stabilnost: čistost materiala je več kot 99,5%, onesnaževanje pa gan rezine ni.

Visoka trdota in odpornost proti obrabi: trdota blizu diamanta, ki lahko prenese visokofrekvenčno uporabo, nevidne spremembe in praske.

2. Odlična toplotna zmogljivost

Visoka toplotna prevodnost, koeficient toplotne ekspanzije (CTE), ki ustreza GAN, zmanjša tveganje za razpokanje rezin v procesu jedkanja.

3. Super kemična korozijska odpornost

Dolgo lahko deluje v visoki koncentraciji fluorida, klorida in drugega korozivnega plinskega okolja.

4. natančno oblikovanje in obdelava

Površinska hrapavost in ravnanje zagotavljata gladko namestitev rezin in enakomernost jedkanja, da ustrezajo zahtevam visokih natančnosti.

Dimenzije, utori, fiksne luknje in druge strukture je mogoče prilagoditi glede na zahteve kupcev.

Polje aplikacije za e-cuck, prevlečeno s sic

● jedkanje plazme (ICP/RIE)

Omogoča fiksacijo in podporo rezin v visoko temperaturi in visoko kemično korozijsko okolje, primerno za proces jedkanja GAN, SIC in drugih materialov.

● Prenos in shranjevanje rezin

Zagotovite zelo ravno platformo brez onesnaževanja, da zaščitite varnost rezin v proizvodnem procesu.

Prilagojene storitve

To polprevodnikponuja prilagojene storitve, ki ustrezajo vašim posebnim potrebam procesa:

● Prilagoditev velikosti: Velikost palete je mogoče prilagoditi glede na velikost rezin (Ø4 ~ 12 palcev).

● Optimizacija strukture: Podporni utor, luknja za pozicioniranje, fiksno točko in drugo prilagajanje strukture.

To polprevodnikTrgovine z izdelki za e-cuck, prevlečene s sic: