Sic ICP jedkanica

Tehnologija ICP jedkanja (induktivno povezano plazemsko jedko) je natančen postopek jedkanja pri proizvodnji polprevodnikov, ki se običajno uporablja za visoko natančen in visokokakovosten prenos vzorcev, še posebej primeren za globoko jedkanje lukenj, predelavo mikro vzorcev itd.

SemiconSIC ICP jedkanica je posebej zasnovana za proces ICP z uporabo visokokakovostnih materialov SIC in lahko zagotavlja odlične zmogljivosti v visokotemperaturni, močni korozivni in visokoenergetski okolji. Kot ključni sestavni del ležaja in podpore,ICP jedkanicaPlošča zagotavlja stabilnost in učinkovitost med postopkom jedkanja.

Sic ICP jedkanicaFunkcije izdelka

● Visoka temperaturna toleranca

SiC ICP jedkanica lahko zdrži temperaturne spremembe do 1600 ° C, kar zagotavlja stabilno uporabo v visokotemperaturnem jedrčnem okolju ICP in preprečuje deformacijo ali razgradnjo zmogljivosti, ki jo povzročajo nihanja temperature.

●  Odlična korozijska odpornost

Silicijev karbidni materialse lahko učinkovito upirajo visoko korozivnim kemikalijam, kot so vodikov fluorid, vodikov klorid, žveplova kislina itd.

●  Koeficient nizke toplotne ekspanzije

SIC ICP jedkanica ima nizek koeficient termične ekspanzije, ki lahko ohrani dobro dimenzijsko stabilnost v visokem temperaturnem okolju, zmanjšuje stres in deformacijo, ki ga povzročajo temperaturne spremembe, in zagotavlja natančen postopek jedkanja.

●  Visoka trdota in odpornost na obrabo

SIC ima trdoto do 9 MOHS trdote, ki lahko učinkovito prepreči mehansko obrabo, ki se lahko pojavi med postopkom jedkanja, podaljša življenjsko dobo in zmanjša nadomestno frekvenco.

●  EXceletna toplotna prevodnost

Odlična toplotna prevodnost zagotavlja, daSic pladenjlahko hitro razprši toploto med postopkom jedkanja, pri čemer se izognete povečanju lokalne temperature, ki ga povzroči kopičenje toplote, s čimer zagotovi stabilnost in enakomernost procesa jedkanja.

S podporo močne tehnične ekipe je pladenj za jedkanje ICP Veteksemicon SIC zaključil različne težke projekte in nudi prilagojene izdelke glede na vaše potrebe. Veselimo se vaše poizvedbe.

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC: