Porozni sic keramični chucks

Porozni sic keramični chucks, ki jih ponuja Veteksemican, so narejeni iz poroznega silicijevega karbida z visoko čistostjo (SIC), ta keramični chuck zagotavlja enoten pretok plina, odlično plodnost in toplotno stabilnost v visokih vakuumskih in temperaturnih pogojih. Idealen je za sisteme vakuumskega vpenjanja, kjer je ključnega pomena brez kontaktnega ravnanja z delci brez delcev.

Ⅰ. Ključne lastnosti materiala in ugodnosti uspešnosti

1. Odlična toplotna prevodnost in temperaturna odpornost

Silicijev karbid ponuja visoko toplotno prevodnost (120–200 w/m · K) in lahko prenese delovne temperature nad 1600 ° C, zaradi česar je Chuck idealen za plazemsko jedkanje, obdelavo ionskih žarkov in visokotemperaturne procese odlaganja.

Vloga: Zagotavlja enakomerno razprševanje toplote, zmanjšuje uporniško rezino in izboljšuje enotnost procesa.

2. Vrhunska mehanska trdnost in odpornost na obrabo

Gosta mikrostruktura SIC daje izjemno trdoto Chuck (> 2000 HV) in mehansko vzdržljivost, ki je bistvena za ponavljajoče se rezine/razkladanje ciklov in ostro procesno okolje.

Vloga: podaljša življenjsko dobo Chucka, hkrati pa ohranja dimenzijsko stabilnost in površinsko natančnost.

3. Nadzorovana poroznost za enotno porazdelitev vakuuma

Fino uglašena porozna struktura keramike omogoča dosledno sesanje vakuuma po površini rezin, kar zagotavlja varno namestitev rezin z minimalno onesnaženostjo delcev.

Vloga: Izboljša združljivost čistega prostora in zagotavlja obdelavo rezin brez poškodb.

4. Odlična kemična odpornost

SIC -jeva inertnost do korozivnih plinov in plazemskih okolij ščiti Chuck pred razgradnjo med reaktivnim jedcem ionov ali kemičnim čiščenjem.

Vloga: Zmanjša čas izpadov in čiščenje, zmanjša operativne stroške.

Ⅱ. Storitve prilagajanja in podpore Veteksemican

V VETEKSmiminu ponujamo celoten spekter prilagojenih storitev za izpolnjevanje zahtevnih zahtev proizvajalcev polprevodnikov:

● Oblikovanje geometrije in velikosti por po meri: Ponujamo Chucks v različnih velikostih, debelinah in gostotah por, prilagojenih specifikacijam vaše opreme in zahtevam vakuuma.

● Hitro preoblikovanje prototipov: Kratki časi svinca in nizka podpora za proizvodnjo MOQ za raziskave in razvoj ter pilotne linije.

● Zanesljiva storitev po prodaji: Od navodil za namestitev do spremljanja življenjskega cikla zagotavljamo dolgoročno stabilnost uspešnosti in tehnično podporo.

Ⅲ. Prijave

● Oprema za jedkanje in plazemsko predelavo

● Ionske implantacije in žarjenja

● Sistemi kemijskega mehanskega poliranja (CMP)

● Metrološke in inšpekcijske platforme

● Sistemi za zadrževanje in vpenjanje v čistih okoljih

Trgovina z izdelki Vekekemeicon: