Keramični elektrostatični chuck

Procesi proizvodnje polprevodnikov, zlasti obdelave rezin, se izvajajo v vakuumskem okolju in mehansko vpenjajoči rezine nosi 

določena tveganja. Ko je sila koncentrirana na točko vpenjanja, lahko krhki silicijevi rezini odstranijo drobne drobce, kar povzroči resno škodo pri proizvodnji rezin.

V tem primeru postane keramični elektrostatični chuck boljša izbira, ki popravlja rezino z elektrostatično silo. Elektrostatična sila deluje enakomerno na rezini, tako da je mogoče rezino določiti, kar izboljša natančnost postopka.

V skladu z ustreznimi raziskovalnimi dokumenti imajo keramični elektrostatični chuck močnejši sesanje kot drugi elektrostatični chucks. Na primer, keramični elektrostatični chuck ima veliko močnejše sesanje kot elektrostatični chuck.

Keramika Chuck je običajno narejena iz visokozmogljivih keramičnih materialov, kot so AL2O3, ALN ali SIC, ki ima visoko toplotno odpornost, izolacijo in korozijsko odpornost. Porozni sic keramični chuck ni samo stabilen pri ekstremnih temperaturah, ampak tudi učinkovito preprečuje, da bi keramični e-cuck razgradil zaradi kemičnih reagentov in plazemskega jedkanja med proizvodnim postopkom.

Nadzor temperature: Visoka toplotna prevodnost in stabilne toplotne lastnosti keramičnih materialov omogočajo alumina keramični vakuumski Chuck za učinkovito krmiljenje temperature in s tem optimizirajo porazdelitev temperature med postopkom.

Prilagodljivost vakuuma: Keramični elektrostatični chuck je primeren za vakuumska okolja, zlasti v procesih z nizkim pritiskom in visoko natančnostjo jedkanja.

Nizka ustvarjanje delcev: Porozni sic keramični e-cuck ima gladko površino, ki lahko zmanjša onesnaženje delcev med pritrditvijo rezin in pomaga izboljšati donos izdelka.

Uporaba: V glavnem se uporablja v proizvodnji polprevodnikov, snemljivega keramičnega elektrostatičnega cucka, ki zagotavlja natančno pozicioniranje in stabilnost, kar je zelo koristno za litografijo, jedkanje in druge procese proizvodnje predelave polprevodnikov. Prepričajte se, da je rezina med obdelavo nedotaknjena in izboljšajo kakovost proizvodnje čipov.

To polprevodnikTrgovine s keramičnimi e-chuck: