Vakuumski chuck

Aplikacija: 

Vakuumski vakuumski chuck z visoko učinkovitostjo za natančno adsorpcijo in trdno fiksacijo rezin in ingotov. Dobro je - primeren za situacije, vključno s proizvodnjo polprevodnikov, rezanjem rezin, natančno predelavo, visoko temperaturno epitaksijo, jedko in ionsko implantacijo.

Ključni parametri:

● Nastavljiva poroznost (od 10 do 200 μm).
● Sposobno prenesti ultra - visoke temperature (do ≤1600 ° C) in kažejo odlično odpornost na toplotni udar.
● Adsorpcijski vakuum: Standard je - 90kpa (prilagodljiv za doseganje 100 kPa).

● Dimenzije sesalne skodelice: lahko podpirajo 4/6/8/12 - palčne rezine, velikost ingot pa je mogoče prilagoditi glede na posebne potrebe.

Ⅰ. Opis

Keramični vakuumski vakuumski vakuum veteksemican uporablja kombinirano strukturo porozne keramike in kovinskega zunanjega obroča. S personalizirano zasnovo zračnih kanalov in pore uresničuje enakomerno porazdelitev adsorpcijske sile in visoke stabilnosti. Ta Chuck se prilega za proizvodnjo polprevodnikov, rezanje rezin, natančno obdelavo itd. Lahko deluje v nastavitvah gibanja z visoko temperaturo in visoko hitrostjo in ustreza zahtevam združljivosti rezin/ingotov v različnih velikostih.

Ⅱ. Jedrna struktura in materialne prednosti

Večplastna kompozitna postavitev:

✔ Površinska plast: Izdelana iz porozne keramike (lahko izbirate med poroznim silicijevim karbidom ali poroznim grafitom). Premer por se lahko nastavi (10 - 200 μm), kar zagotavlja, da se adsorpcijska sila enakomerno prenese na površino rezin in tako prepreči kopičenje lokalnega stresa.

✔ matrica: Sestavljen iz zelo toge kovinske okvirja (bodisi nerjavečega jekla ali aluminijeve zlitine), ki ponuja konstrukcijsko podporo in nepremagljivost.

✔ dihalne poti in pore: Natančno obdelane notranje dihalne poti tvorijo omrežje, skupaj z enakomerno razporejenimi mikropori. Ta nastavitev podpira hitro ekstrakcijo vakuuma (adsorpcijska sila lahko doseže do - 90kpa) in takojšnjo sproščanje.

Ⅲ . Primerjava MAznačilnosti teriranja

1. Primerjava lastnosti materiala

2. scenariji in primeri prijave

✔ Polprevodniški Fabatio

Epitaksialna rast: pri visokih temperaturah lahko trdno adsorbira sic rezine, kar preprečuje, da bi se rezine izkrivljale in se onesnažile.

Litografija in jedkanica: omogoča natančno pozicioniranje na platformah z visoko hitrostjo (pospešek ≤10G), kar zagotavlja natančnost grafične poravnave.

✔ Obdelava ingot

Rezanje in mletje: lahko adsorbira težke ingote (kot sta safir in silicijev in ingoti karbida), kar zmanjšuje razpoke robov zaradi vibracij.

✔ Znanstvene raziskave in posebne tehnologije

Visoko - temperaturno žarjenje: Porozni silicij - sesalne skodelice karbida lahko neprekinjeno delujejo pri 1600 ° C brez deformacije ali odzračevalnega onesnaženja.

Vakuumsko prevleko: z visoko - zračno in tesno zasnovo se lahko prilagodi okolju PVD/CVD v votlini.

3. Prilagojena storitev

✔ Ponujamo prilagoditev za velikost in obremenitev.

✔ Stomate in dihalne poti se lahko optimizirajo, da izpolnjujejo posebne zahteve.

✔ Lahko se prilagodi posebnim okoljem.

Ⅳ. Pogosta vprašanja:

Kako vakuumski chucks dosežejo združljivost rezin več velikosti (npr. 12/8/6 ")?

V: Kako se en sam Chuck hkrati prilega 12-palčni, 8-palčni in 6-palčni rezini? Ali je fizično prestrukturiranje potrebno?

A:Večdimenzionalna združljivost s prilagodljivo dihalno potjo in želodčno delitvijo:

✔ Dinamični krmilni nadzor: Stomate na površini sesalca so razporejeni na območju obroča, zračni krog na različnih območjih pa nadzoruje zunanji ventil.

Na primer, pri absorpciji 8-palčne rezine so omogočene samo pore v osrednjem območju in zunanje pore so zaprte (da se izognejo puščanju adsorpcijske sile).

✔ Prilagodljivo oblikovanje dihalnih poti: Vrta je modularno postavitev, ki ustreza robom profilov rezin različnih velikosti, da se zagotovi enakomerna pokritost sile adsorpcije. in Prednosti so kot sledilne:

Zero zamenjava strojne opreme: Ni treba odstraniti ali zamenjati sesalne skodelice, s stikalom za programsko ali plinsko ventil je mogoče prilagoditi različnim velikostim.

Prihranki stroškov: Zmanjšajte stroške prenove opreme in čas izpadov ter povečajte prilagodljivost proizvodne linije.