Izdelki

Veteksemican SIC konzolni vesla so visoke čistosti silicijevega karbida podporne roke, zasnovane za ravnanje z rezinami v vodoravnih difuzijskih pečeh in epitaksialnih reaktorjih. Z izjemno toplotno prevodnostjo, korozijsko odpornostjo in mehansko trdnostjo te veševine zagotavljajo stabilnost in čistočo v zahtevnem polprevodniškem okolju. Na voljo v velikostih po meri in optimizirano za dolgo življenjsko dobo.

SIC Block VETEKSEMICON je zasnovan za visoko učinkovito mletje in redčenje silicijevih in safirnih rezin. Z odlično toplotno prevodnostjo (≥120 w/m · K), visoko odpornostjo na toplotni udar in vrhunsko odpornostjo na obrabo (MOHS ≥9) naši bloki izboljšujejo stabilnost procesa in zmanjšujejo frekvenco spreminjanja orodja. Na voljo v velikostih od 120 mm do 480 mm, s prilagojenimi možnostmi in hitro dostavo za zadovoljevanje različnih proizvodnih potreb.

Držalo za silicijeve rezine za silicijeve rezine Veekemican je zasnovano za natančnost in delovanje v naprednih polprevodniških procesih, kot so MOCVD, LPCVD in visoko temperaturno žarjenje. Z enakomerno prevleko s CVD sic to držalo rezin zagotavlja izjemno toplotno prevodnost, kemično inertnost in mehansko trdnost-bistveno za kontaminacijo, visoko donosno obdelavo rezin.

VETEKSMICON High-Waty SIC Edgen obroče, posebej zasnovane za opremo za polprevodniško jedkanje, odlikujejo izjemno korozijsko odpornost in toplotno stabilnost, kar bistveno povečajo donos rezin

Membrane za keramiko Vekeksemican SIC so vrsta anorganske membrane in spadajo v trdne membranske materiale v tehnologiji ločevanja membrane. SIC membrane so izstreljene pri temperaturi nad 2000 ℃. Površina delcev je gladka in okrogla. V podporni plasti in vsake plasti ni zaprtih pore ali kanalov. Običajno so sestavljeni iz treh slojev z različnimi velikostmi por.

Polirna gošča CMP (Chemical Mechanical Polishing Slurry) je visoko zmogljiv material, ki se uporablja pri proizvodnji polprevodnikov in natančni obdelavi materialov. Njegova glavna funkcija je doseči fino ravnost in poliranje površine materiala pod sinergijskim učinkom kemične korozije in mehanskega brušenja, da se izpolnijo zahteve glede ravnosti in kakovosti površine na nano ravni. Veselimo se vašega nadaljnjega posvetovanja.