Izdelki

Naše porozne keramične plošče so porozni keramični materiali iz silicijevega karbida kot glavne sestavine in jih obdelujejo posebni procesi. So nepogrešljivi materiali pri proizvodnji polprevodnikov, kemičnem odlaganju hlapov (CVD) in drugih procesih.

Naš tesnilni obroč za epitaksijo sic je visokozmogljiva tesnilna komponenta, ki temelji na grafitnih ali ogljikovih ogljikovih kompozitih, obloženih z visoko čistočijo silicijevega karbida (SIC) s kemičnim odlaganjem hlapov (CVD), ki združuje toplotno stabilnost grafita (npr., MICV-om, zasnovana za epitaksialno opremo.

Naša kremenčeva jadrnica z visoko čistostjo je narejena iz spojenega kremena (vsebnost sio₂ ≥ 99,99%). S svojo odlično odpornostjo na ekstremna okolja, nizkim koeficientom termične razširitve in dolge življenjske cikla je postal nenadomestljiv ključ, ki ga je mogoče potropiti v polprevodniških in novih energetskih industrijah.

Fokusni obroč za jedkanje je ključna komponenta za zagotavljanje natančnosti in stabilnosti procesa. Te komponente so natančno sestavljene v vakuumski komori, da dosežejo enakomerno obdelavo nanoskalnih struktur na površini rezin z natančnim nadzorom porazdelitve plazme, robove temperature in enakomernosti električnega polja.

Veteksemican Single Wafer Epi Graphite Senceptor je zasnovan za visokozmogljiv silicijev karbid (SIC), galijev nitrid (GAN) in drugi polprevodniški epitaksialni proces tretje generacije in je jedrna sestavina visoko natančne epitaksialne pločevine pri množični proizvodnji.

VETEKSMICON je vodilni proizvajalec vakuumskih Chucka na Kitajskem, naš keramični vakuumski Chuck služi kot visoko končna adsorpcijska naprava, usmerjena v natančno adsorbiranje in imobilizirajoče rezine in ingote. Dobrodošli v vašem povpraševanju.