Silicon karbid sic vafer čoln

Veteksemican Sic Wafer Boat je osrednji nosilec, zasnovan posebej za visokotemperaturne polprevodniške procese. Ta izdelek z uporabo visoke čistosti izostatično stisnjenega grafita kot svoj substrat uporablja patentirano tehnologijo za nalaganje kemičnih hlapov, da tvori gosto, neporozno zaščitno plast silicijevega karbida na površini.

Ta plast brezhibno združuje odlično toplotno prevodnost grafita z izjemno korozijsko odpornostjo silicijevega karbida. Strogo nadzorovano prevleko doseže debelino 80-120 μm, ki se učinkovito upira koroziji iz različnih kislih in alkalnih atmosfer, kar znatno zmanjša tveganje za kontaminacijo kovin. Ohranja strukturno stabilnost in dimenzijsko celovitost tudi v visokotemperaturnih okoljih, kar zagotavlja zanesljivo zaščito in podporo rezine med kritičnimi procesi, kot so oksidacija, difuzija in epitaksialna rast, učinkovito razširi življenjsko dobo rezin za več kot trikrat več kot na običajnih grafitnih čolnih.

Ⅰ. Tehnični parametri

Ⅱ. VETEKSMICON SIC SIC DELA VODNIH PREDNOSTI

• Odlična korozijska odpornost

Sic prevleka na čolnu vekeksonske rezine se odloži z našim lastniškim visokotemperaturnim procesom CVD, kar ima za posledico gosto, enakomerno strukturo, ki je popolnoma brez pore in razpok. Ta trdna ovira učinkovito izolira rezine iz okolja peči. Močne oksidacijske atmosfere, fluorirane spojine in drugi korozivni plini so za to zaščitno plast neprepustni. To pomeni, da so vaši rezini zaščiteni pred onesnaženjem, medtem ko sama čoln ostane nedotaknjena s ponavljajočimi se ekstremnimi procesi, kar bistveno podaljšajo življenjsko dobo.

• Ultra visoki materiali za čistost

Zavedamo se, da lahko celo najmanjša kontaminacija celotno serijo rezin postane neuporabna. Zato Veeksemicon strogo nadzoruje surovine z uporabo uvoženega izostatično stisnjenega grafita s čistostjo, ki presega 99.9995% kot substrat. SIC prevleka, deponirana na tem substratu, dosega tudi 99,999% čistosti, kritične nečistoče, kot so natrij, kalij, železo in težke kovine, ki se držijo izredno nizke ravni (PPB). Ta skoraj intrinzična čistost zagotavlja, da se pri visokih temperaturah ne sprošča onesnaževalce, kar bistveno odpravi tveganje za degradacijo zmogljivosti naprave zaradi težav, povezanih z nosilcem.

• Odlična toplotna stabilnost

Polprevodniška proizvodnja zahteva izjemno dosledne toplotne procese. Koeficient toplotne ekspanzije Veteksemican Wafer Boat je natančno zasnovan tako, da se tesno ujema s kovčkom silicijevih rezin. Med hitrim ogrevanjem in hlajenjem se čoln in rezine premikajo v sinhronizaciji, kar znatno zmanjša tveganje za napake rešetk in upogibanje, ki ga povzroča toplotni stres. Lahko prenese neprekinjene delovne temperature do 1600 ℃, kar ohranja odlično mehansko trdnost in dimenzijsko stabilnost tudi pri teh visokih temperaturah. To zagotavlja ponovljivost in zanesljivost v vsakem postopku, kar zagotavlja trden temelj za nadzor tolerance pri proizvodnji čipov.

• Trajna mehanska trdnost

Vrednost naših izdelkov ni le v začetni naložbi, ampak tudi v dolgoročnih stroških lastništva. V primerjavi s tradicionalnimi kremenčevimi ali grafitnimi komponentami, čolni Veeksemican sic rezine ponujajo izjemno obrabo in odpornost na udarce. Njihova visoka površinska trdota se upira praskam in odpadkom med ravnanjem in čiščenjem. Ta žilavost jim omogoča, da zlahka vzdržijo več kot 200 visokotemperaturnih procesov ciklov in potrebnih postopkov čiščenja, kar znatno zmanjša stroške javnih naročil, stroške zalog in izpad opreme, povezane s pogosto zamenjavo komponent.

• Potrditev za preverjanje ekološke verige

Ekološka veriga verige Veteksemican Sic zajema surove materiale za proizvodnjo, opravila je mednarodno certifikat standardov in ima številne patentirane tehnologije, s katerimi je zagotovila njeno zanesljivost in trajnost na polprevodniških in novih energetskih poljih.

Ⅲ. Glavna aplikacijska polja

Za podrobne tehnične specifikacije, bele papirje ali vzorčne ureditve testiranja se obrnite na našo skupino za tehnično podporo, da raziščete, kako lahko Veteksemin izboljša vašo učinkovitost procesa.

VETEKSMICON izdelki skladišče