Od proizvodnega procesa elektrostatičnih sesalnih skodelic do množične proizvodnje proizvodnje

Načelo delitveElektrostatični chuckje ključni del njegovega delovnega toka, ki vključuje mehanizme izločanja elektrostatične sile in rezine rezin. Sledi podrobna analiza:

Dechuckovo jedro je odpraviti ali nevtralizirati elektrostatično silo, adsorbirano na rezini, posebne metode pa vključujejo:

Youdaoplaceholder0 odrezal moč

Nehajte nanašati napetost neposrednega toka na elektrodo, da postopoma odpravite električno polje.

YouDaoplaceholder0 povratna napetost ali vbrizgavanje plina ‌

Nekateri sistemi bodo uporabili reverzno napetost ali uvedli inertne pline (na primer on, N₂), da bi pospešili nevtralizacijo naboja ali fizično ločevanje.

Primerjajmo profesionalne tehnike proizvodnje ESC in najprej poglejmo, ali lahko podjetje doseže takšno lestvico.

Tehnologija analize CAE, funkcionalni materiali plošče, oblikovanje elektrod, tehnologija analize, tehnologija hladilnih kanalov, tehnologija oblikovanja grelnika, starejše osebje v polprevodniški opremi.

Japonska in južnokorejska podjetja morajo biti v celoti zaposlena s tako ustreznim osebjem. Če ne, ni treba govoriti o tehnologiji podjetja.

Tehnologija Chuck, elektrode, diski in celo načelo pretoka He še niso bili razjasnjeni. Naredimo grobo elektrostatično sesalno skodelico. Takšna podjetja se neposredno prenesejo naprej. V bistvu se uporabljajo za pridobivanje denarja vlagateljev. To je osnovna raven znanja, kako. Vlagatelji bi se morali odpovedati tudi podjetju, ki se igra z igrami s kartami in nima zaposlenih z več kot 10 let izkušenj na področju jedkanja, saj to ni podjetje, ki počne praktične stvari.

Ko gre za streljanje praška v industriji, so vsi na istem področju. Vsak ima svojo edinstveno formulo. Kateri nima moči, da bi bil opremljen s sintranimi keramičnimi površinami? Vlagatelji lahko prenesejo tudi te konfiguracije ali podjetja, ki jih niso v celoti dojela, ker je njihova temeljna logika enaka: želijo zaslužiti denar, ne da bi razvijali izdelke.

Kar zadeva popravilo, bi morale imeti številna domača podjetja do zdaj ustrezne zmogljivosti za L1 do L3. Tudi če zmogljivosti nekoliko primanjkuje, L1 lahko še vedno obvlada. Za L3 in več ga ni mogoče popraviti ali pa ga je mogoče podizvajati. Vsekakor obstaja še vedno način, kako ga popraviti.

L1 Popravilo Popravila površine, izboljšanje hrapavosti površine/izboljšanje ravnine/regeneracija udarcev.

Popravilo L2: Popravilo sklepne plasti, ponovno obveščanje kovinske baze in keramični disk/ponovno polnjenje sklepne plasti.

L3 popravila zamenjava keramičnega diska, proizvodnja/rebing kovinske baze in keramičnega diska.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Podjetje ima vodilni položaj pri oblikovanju in proizvodnji domačih elektrostatičnih chucksov in opreme, ki temelji na elektrostatičnih chucksu kot temeljni tehnologiji. Trenutno je Haituo Innovation dosegla komercialno proizvodnjo elektrostatičnih sesalnih skodelic in dokončala dostavo 4-palčne do 12-palčne polprevodniške Fab Electrostatic Chucks.

Peking Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Elektrostatične sesalne skodelice, ki jih podjetje neodvisno razvije, upoštevajo ustrezne standarde in obdelavoZahteve polprevodniške industrije. 12-palčni PVD-aluminijski nitridni elektrostatični sesalni skodelici, ki so se razvili v zgodnji fazi, so do neke mere prekršili dolgoročni monopol tujih proizvajalcev na tem področju izdelkov. Trenutno je Huazhuo Jingke uporabil povezano tehnologijo elektrostatičnih sesalnih skodelic za proizvodnjo izdelkov in dosegel majhno množično proizvodnjo. Za kupce lahko zagotovi tudi prilagojene izdelke.

Ustanovljen je bil leta 2016, je vodilni ponudnik naprednih materialov za premazovanje za polprevodniško industrijo. Naš ustanovitelj, nekdanji strokovnjak z Inštituta za materiale kitajske akademije znanosti, je ustanovil podjetje s poudarkom na razvoju vrhunskih rešitev za industrijo.

Naša glavna ponudba izdelkov vključujejo prevleke s silicijevim karbidom CVD (sic), prevleke Tantalum karbide (TAC), razsuti sic, sic v prahu in materiale SiC z visoko čisto čistostjo. Glavni izdelki so sic prevlečeni z grafitnim obstrežbo, predgret obroče, preusmeritveni obroč, prevlečen s TAC, deli pol min itd., Čistost je pod 5ppm, lahko ustrezajo strankam.

Zhejiang Xinna Material Technology Co., Ltd

Izdelki elektrostatične sesalne skodelice, ki jih je razvil IT, imajo kazalnike zmogljivosti, ki lahko ustrezajo zahtevam podjetij za proizvodnjo čipov. Imajo izjemne lastnosti, kot so nadzorovana temperatura, enakomerna adsorpcijska sila, brez prask ali gub med adsorpcijo in brez učinka izključitve na robu na rezine. Potrjujejo jih vodilna domača podjetja za polprevodniške industrije, kot so Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics in Severno Kitajska inovacija in so dosegli prodajo. Na tem področju izdelkov je razbil monopol tujih proizvajalcev.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

Leta 2022 je podjetje naredilo strateške poteze na področju natančnih keramičnih komponent, pri čemer je doseglo lokalizacijo zelo tehničnih natančnosti, kot so ogrevalne plošče in elektrostatični chucks. Glavni tehnični kazalci keramičnih ogrevalnih plošč, ki jih je razvil Zhongci Electronics, so dosegli raven podobnih mednarodnih izdelkov in jih preverili uporabniki. Uporabljali so jih v serijah v ključni domači polprevodniški opremi. Keramične ogrevalne plošče so bile dostavljene v razsutem stanju, elektrostatični chucks pa so bili poslani za testiranje vzorcev.