Kateri materiali se uporabljajo v polprevodniških keramičnih komponentah?

Alumina keramika (al₂o₃) ‌

Alumina keramika je "delovni konj" za izdelavo keramičnih komponent. Imajo odlične mehanske lastnosti, ultra visoke tališča in trdoto, korozijsko odpornost, močno kemično stabilnost, visoko upornost in vrhunsko električno izolacijo. Običajno se uporabljajo za izdelavo plošč za poliranje, vakuumske chucks, keramične roke in podobne dele.

‌Aluminijeva keramika nitrida (ALN)

Aluminijeva keramika nitrida ima visoko toplotno prevodnost, koeficient toplotne ekspanzije, ki se ujema s silikonskim in nizko dielektrično konstanto in izgubo. S prednostimi, kot so visoka tališče, trdota, toplotna prevodnost in izolacija, se uporabljajo predvsem pri podlagah, ki oddajajo toploto, keramične šobe in elektrostatične chucks.

‌Yttria keramika (y₂o₃)

Yttria keramika se ponaša z visoko tališče, odlično kemično in fotokemično stabilnostjo, nizko fononsko energijo, visoko toplotno prevodnostjo in dobro prosojnostjo. V industriji polprevodnikov jih pogosto kombinirajo s keramiko iz glinice - na primer prevleke Yttria nanesejo na keramiko glinice za izdelavo keramičnih oken.

‌Silicon nitrida keramika (Si₃n₄) ‌

Za keramiko iz silicijevega nitrida so značilne visoko tališče, izjemna trdota, kemična stabilnost, nizka koeficient toplotne ekspanzije, visoka toplotna prevodnost in močna odpornost na toplotni udar. Ohranjajo izjemno odpornost na udarce in trdnost pod 1200 ° C, zaradi česar so idealni za keramične podlage, kljuke, ki nosijo tovora, zatiče in keramične cevi.

‌Silicon karbid keramika (sic) ‌

Keramika iz silicijevega karbida, spominja na diamant v lastnostih, so lahki, ultra trdni in visoki trdni materiali. Z izjemnimi celovitimi zmogljivostmi, odpornostjo na obrabo in korozijsko odpornostjo se pogosto uporabljajo v sedežih ventilov, drsnih ležajih, gorilnikih, šobah in toplotnih izmenjevalnikih.

‌Zirkonija keramika (Zro₂) ‌

Keramika cirkonija ponuja visoko mehansko trdnost, toplotno odpornost, kislino/alkalijsko odpornost in odlično izolacijo. Na podlagi vsebine cirkonija so razvrščeni v:

• Precision Ceramics‌ (vsebina presega 99,9%, ki se uporablja za integrirane vezje in visokofrekvenčne izolacijske materiale).
• Navadna keramika‌ (za splošne namenske keramične izdelke).

Strukturne značilnostiPolprevodniška keramika Komponente

‌Neseramika ‌

V polprevodniški industriji se pogosto uporablja gosta keramika. Dosežajo zgoščevanje z zmanjšanjem pore in jih pripravljajo po metodah, kot so reakcijsko sintranje, sintranje brez tlaka, sintranje tekočine v fazi, vroče stiskanje in vroče izostatično stiskanje.

‌Porozna keramika

V nasprotju z gosto keramiko porozna keramika vsebuje nadzorovan obseg praznin. Razvrščajo jih po velikosti por v mikroporozno, mezoporozno in makroporozno keramiko. Z nizko gostoto v razsutem stanju, lahka struktura, veliko specifično površino, učinkovito filtracijo/toplotno izolacijo/akustično duševno lastnosti in stabilno kemijsko/fizično zmogljivostjo se uporabljajo za izdelavo različnih komponent v polprevodniški opremi.