Uporaba trdnega silicijevega karbida

Trden silicijev karbid Sic je napreden keramični material, sestavljen iz silicija (SI) in ogljika (C). V naravi ni snov, ki jo pogosto najdemo in običajno zahteva visokotemperaturno sintezo. Njegova edinstvena kombinacija fizikalnih in kemijskih lastnosti je ključni material, ki dobro deluje v ekstremnih okoljih, zlasti v proizvodnji polprevodnikov.

Ⅰ. Ključne fizikalne lastnosti trdnega silicijevega karbida (trdni sic)

▶ Visoka trdota in odpornost proti obrabi:

SIC ima trdoto MOHS približno 9-9,5, na drugem mestu za diamant. To mu daje odlično odpornost na praske in obrabe, dobro pa se obnese v okoljih, ki morajo zdržati mehanski stres ali erozijo delcev.

▶ Odlična visokotemperaturna moč in stabilnost

1. SIC lahko ohrani svojo mehansko trdnost in strukturno celovitost pri izjemno visokih temperaturah (deluje pri temperaturah do 1600 ° C ali celo višje, odvisno od vrste in čistosti).

2. Njen nizek koeficient toplotne ekspanzije pomeni, da ima dobro dimenzijsko stabilnost in ni nagnjen k deformaciji ali razpokanju, ko se temperatura drastično spremeni.

▶ Visoka toplotna prevodnost:

Za razliko od mnogih drugih keramičnih materialov ima SIC razmeroma veliko toplotno prevodnost. To mu omogoča učinkovito izvajanje in razprševanje toplote, kar je ključnega pomena za aplikacije, ki zahtevajo natančen nadzor temperature in enakomernost.

Vrhunska kemična inertnost in korozijska odpornost:

SIC ima izjemno močno odpornost na večine močnih kislin, močnih baz in korozivnih plinov, ki se običajno uporabljajo v polprevodniških procesih (kot so plini na osnovi fluora in na kloru v plazemskih okoljih), tudi pri visokih temperaturah. To je ključnega pomena za preprečevanje, da bi komponente procesne komore korodirale ali onesnažile.

▶ Potencial za visoko čistost:

Izjemno visoke čistosti sic prevleke ali trdnih delov SIC se lahko proizvajajo s specifičnimi proizvodnimi postopki (kot je kemično odlaganje hlapov - CVD). Pri proizvodnji polprevodnikov materialna čistost neposredno vpliva na raven kontaminacije rezin in donos končnega izdelka.

▶ Visoka togost (Young's Modul):

Sic ima visok Young's modul, kar pomeni, da je pod obremenitvijo zelo težko in ni enostavno deformirati. To je zelo pomembno za komponente, ki morajo vzdrževati natančno obliko in velikost (na primer nosilci rezin).

▶ Prilagodljive električne lastnosti:

Čeprav se pogosto uporablja kot izolator ali polprevodnik (odvisno od njegove kristalne oblike in dopinga), njegova visoka upornost pomaga obvladovati vedenje v plazmi ali preprečiti nepotrebno lok v nekaterih komponentnih aplikacijah.

Ⅱ. Specifične aplikacije in prednosti končnih izdelkov iz trdnega silicijevega karbida (Solid SIC) v proizvodnji polprevodnikov

Na podlagi zgornjih fizikalnih lastnosti se trdni SIC izdeluje v različne natančne komponente in se pogosto uporablja v več ključnih povezavah polprevodniških sprednjih procesov.

1) nosilec trdnih sic rezin (trdni nosilec / čoln sic rezin):

Vloga:

Uporablja se za prenos in prenos silicijevih rezin v visokotemperaturnih procesih (kot so difuzija, oksidacija, LPCVD-nizkotlačno kemično nanašanje hlapov).

Analiza prednosti:

1. visoka temperaturna stabilnost: Pri procesnih temperaturah, ki presegajo 1000 ° C, se nosilci SIC ne bodo zmehčali, deformirali ali se z lahkoto kot kremen in lahko natančno vzdržujejo razmik rezin, da se zagotovi enakomernost procesa.

2. Dolga življenjska doba in nizka ustvarjanje delcev: trdota in odpornost na sic daleč presegata kremen in ni enostavno proizvajati drobnih delcev za kontaminiranje rezin. Njegova življenjska doba je običajno večkrat ali celo večkrat večja od kvarčnih prevoznikov, kar zmanjšuje nadomestno pogostost in stroške vzdrževanja.

3. Kemična inertnost: lahko se upira kemični eroziji v procesni atmosferi in zmanjša kontaminacijo rezin, ki jo povzroča padavine lastnih materialov.

4. Termična prevodnost: dobra toplotna prevodnost pomaga doseči hitro in enakomerno ogrevanje in hlajenje nosilcev in rezin, izboljšanje učinkovitosti procesa in temperaturne enakomernosti.

5. Visoka čistost: Nosilci SIC visoke čistosti se lahko izdelujejo tako, da ustrezajo strogim zahtevam naprednih vozlišč za nadzor nečistoče.

Uporabniška vrednost:

Izboljšajte stabilnost procesa, povečati donos izdelka, zmanjšati čas izpadov, ki jih povzroča okvara ali kontaminacija komponent, in dolgoročno zmanjšati skupne stroške lastništva.

2) Trdna glava v obliki črke SIC v obliki plošče:

Vloga:

Nameščeno na vrhu reakcijske komore opreme, kot so jedkanica v plazmi, odlaganje kemičnih hlapov (CVD), odlaganje atomske plasti (ALD) itd., Odgovorno za enakomerno porazdelitev procesnih plinov na površino rezine spodaj.

Analiza prednosti:

1. Plazemska toleranca: V visokoenergetskem, kemično aktivnem plazemskem okolju je glava tuš sic izjemno močna odpornost proti bombardiranju v plazmi in kemični koroziji, ki je daleč boljši od kremena ali glinice.

2. Enotnost in stabilnost: Natančna glava za tuširanje s natančnostjo lahko zagotovi, da se pretok plina enakomerno porazdeli po celotni površini rezin, kar je ključnega pomena za enotnost debeline filma, enotnost sestave ali hitrost jedkanja. Ima dobro dolgoročno stabilnost in ga ni enostavno deformirati ali zamašiti.

3. Toplotno upravljanje: dobra toplotna prevodnost pomaga ohranjati temperaturno enakomernost na površini prhe, kar je ključnega pomena za številne toplotno občutljive postopke odlaganja ali jedkanja.

4. Nizka kontaminacija: Visoka čistost in kemična inerstnost zmanjšujeta kontaminacijo lastnih materialov tuš kabine na postopek.

Uporabniška vrednost:

Znatno izboljšajo enotnost in ponovljivost rezultatov procesa, podaljšajo življenjsko dobo tuš kabine, zmanjšajo čas vzdrževanja in težave z delci ter podpirajo bolj napredne in strožje pogoje procesa.

3) Trden fokusiran obroč za jedkanje sic (trdni fokusni obroč za jedkanje / obroč za jedkanje / rob):

Vloga:

V glavnem se uporablja v komori opreme za jedkanje v plazmi (na primer kapacitivno povezan plazemski CCP ali induktivno povezan plazemski iCP etcher), ki je običajno nameščen na robu nosilnika rezin (chuck), ki obdaja rezino. Njegova funkcija je omejiti in usmeriti plazmo, tako da deluje bolj enakomerno na površini rezin, hkrati pa zaščiti druge komponente komore.

Analiza prednosti:

1. Močna odpornost na erozijo v plazmi: to je najpomembnejša prednost obroča, ki se osredotoča na SIC. V izjemno agresivnih plazmah jedkanice (kot so kemikalije, ki vsebujejo fluor ali klor), sic nosi veliko počasnejše od kremena, glinice ali celo yttria (ytrium oksid) in ima izjemno dolgo življenje.

2. Vzdrževanje kritičnih dimenzij: visoka trdota in visoka togost omogočajo, da sic fokusni obroči bolje ohranijo svojo natančno obliko in velikost v dolgih obdobjih uporabe, kar je ključnega pomena za stabilizacijo morfologije plazme in zagotavljanje enakomernosti jedkanja.

3. Nizka nastajanje delcev: Zaradi odpornosti proti obrabi močno zmanjša delce, ki nastanejo s staranjem komponent, s čimer izboljšajo donos.

4. Visoka čistost: Izogibajte se vnosu kovine ali drugih nečistoč.

Uporabniška vrednost:

Močno razširite komponentne nadomestne cikle, znatno zmanjšajo stroške vzdrževanja in izpad opreme; izboljšati stabilnost in ponovljivost procesov jedkanja; Zmanjšajte pomanjkljivosti in izboljšajte donos proizvodnje čipov višjega cenovnega razreda.

Ⅲ.Povzetek

Trden silicijev karbid je postal eden od nepogrešljivih ključnih materialov v sodobni proizvodnji polprevodnikov zaradi svoje edinstvene kombinacije fizikalnih lastnosti - visoke trdote, visoke tališče, visoke toplotne prevodnosti, odlične kemijske stabilnosti in korozijske odpornosti. Ne glede na to, ali gre za nosilec rezin, glava za tuširanje za nadzor distribucije plina ali fokusiran obroč za vodenje plazme, trdni izdelki SIC pomagajo proizvajalcem čipov pri obvladovanju vse bolj strogih procesnih izzivov z njihovo odlično zmogljivostjo in zanesljivostjo, izboljšajo učinkovitost proizvodnje in donosnost izdelkov ter s tem spodbujajo trajnostni razvoj celotne industrije polprevodnikov.

Kot vodilni proizvajalec in dobavitelj trdnih izdelkov iz silicijevega karbida na Kitajskem,Semiconizdelki, kot soTrden nosilec / čoln sic rezin, Trdna glava v obliki diska / plina, Trden sic jedkanica fokusiran obroč / rob obročse široko prodajajo v Evropi in Združenih državah Amerike in so prinašali visoko pohvalo in priznanje teh strank. Iskreno se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem. Dobrodošli, da se posvetujete.

Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

E -pošta: anny@veteksemi.com