Prevleka iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.

Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.

Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja delov, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.

Naši izdelki s premazom iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.

Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina	Tipična vrednost
Kristalna struktura	FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
SiC prevleka Gostota	3,21 g/cm³
SiC prevleka Trdota	2500 Vickers trdota（500g obremenitev）
Velikost zrn	2~10 μm
Kemijska čistost	99,99995 %
Toplotna zmogljivost	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura sublimacije	2700 ℃
Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost	300 W·m^-1·K^-1
Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Epi suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom SiC prevleka za rezine Satelitski pokrov s prevleko iz SiC za MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC prevleka Grelni element Satelitski nosilec rezin Aixtron SiC Coating Epi sprejemnik SiC prevleka polmesečevih grafitnih delov

View as

8-palčni del polmeseca za reaktor LPE

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec polprevodniške opreme na Kitajskem, ki se osredotoča na raziskave in razvoj ter proizvodnjo 8-palčnega dela polmeseca za reaktor LPE. V preteklih letih smo si nabrali bogate izkušnje, zlasti pri prevlečnih materialih SiC, in smo predani zagotavljanju učinkovitih rešitev, prilagojenih za epitaksialne reaktorje LPE. Naš 8-palčni del Halfmoon za reaktor LPE ima odlično zmogljivost in združljivost ter je nepogrešljiva ključna komponenta pri epitaksialni proizvodnji. Pozdravljamo vaše povpraševanje, če želite izvedeti več o naših izdelkih.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Sic prevlečen palačinka za LPE PE3061S 6 '' rezin

Pancake susceptor s prevleko iz SiC za 6'' rezine LPE PE3061S je ena od osrednjih komponent, ki se uporabljajo pri epitaksialni obdelavi rezin 6''. VeTek Semiconductor je trenutno vodilni proizvajalec in dobavitelj prevleke za palačinke, prevlečene s SiC, za 6'' rezine LPE PE3061S na Kitajskem. SiC prevlečeni palačinkarski susceptor, ki ga zagotavlja, ima odlične lastnosti, kot so visoka odpornost proti koroziji, dobra toplotna prevodnost in dobra enotnost. Veselimo se vašega povpraševanja.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

SIC prevlečena podpora za LPE PE2061S

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj grafitnih komponent, prevlečenih s SIC, na Kitajskem. Podpora, prevlečena s sic za LPE PE2061S, je primerna za Epitaksialni reaktor LPE. Kot dno barelne osnove lahko podpora, prevlečena s SIC, za LPE PE2061 zdrži visoke temperature 1600 stopinj Celzija, s čimer doseže ultra življenjsko dobo izdelkov in zmanjša stroške kupcev. Veselimo se vaše poizvedbe in nadaljnje komunikacije.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Zgornja plošča s prevleko iz SiC za LPE PE2061S

Vetek Semiconductor se že vrsto let globoko ukvarja z izdelki za sic in je postal vodilni proizvajalec in dobavitelj zgornje plošče SIC prevleke za LPE PE2061 na Kitajskem. Zgornja plošča, prevlečena s sic za LPE PE2061, ki jo ponujamo, je zasnovana za epitaksialne reaktorje silicijevega LPE in je na vrhu skupaj z balino. Ta zgornja plošča, prevlečena s sic za LPE PE2061, ima odlične značilnosti, kot so visoka čistost, odlična toplotna stabilnost in enotnost, kar pomaga pri rasti kakovostnih epitaksialnih plasti. Ne glede na to, kateri izdelek potrebujete, se veselimo vašega povpraševanja.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Sic prevlečen sod za LPE PE2061S

Kot eden od vodilnih obratov za proizvodnjo rezin na Kitajskem je Vetek Semiconductor nenehno napredoval pri izdelkih za objemke rezin in je postal prva izbira za številne proizvajalce epitaksialnih rezin. SIC prevlečeni sod za LPE PE2061, ki jih zagotavlja Vetek Semiconductor, je zasnovan za rezine LPE PE2061S 4 '. Občutek ima trajno prevleko iz silicijevega karbida, ki izboljšuje delovanje in trajnost med postopkom LPE (tekoče faze epitaksije). Dobrodošli v vašem poizvedovanju, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Trdna glava za tuširanje s plinom

Solid SiC plinska tuš glava ima pomembno vlogo pri izenačevanju plina v procesu CVD, s čimer zagotavlja enakomerno segrevanje podlage. VeTek Semiconductor je že vrsto let poglobljeno vpleten v področje naprav iz trdnega SiC in je sposoben strankam zagotoviti prilagojene plinske glave za tuširanje iz trdnega SiC. Ne glede na vaše zahteve, veselimo se vašega povpraševanja.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Kot profesionalec Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz silicijevega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.

koda QR

O nas

Izdelki

Kontaktiraj nas

Telefon
+86-18069220752
faks
+86-579-87223657
E-naslov
anny@veteksemi.com
Naslov
Wangda Road, Ulica Ziyang, okrožje Wuyi, mesto Jinhua, provinca Zhejiang, Kitajska

Spletni meni

Iskanje izdelkov

Jezik

Izhod iz menija

Prevleka iz silicijevega karbida

Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

8-palčni del polmeseca za reaktor LPE

Sic prevlečen palačinka za LPE PE3061S 6 '' rezin

SIC prevlečena podpora za LPE PE2061S

Zgornja plošča s prevleko iz SiC za LPE PE2061S

Sic prevlečen sod za LPE PE2061S

Trdna glava za tuširanje s plinom

Pošlji povpraševanje

koda QR

O nas

Izdelki

Kontaktiraj nas

Telefon

faks

E-naslov

Naslov