Prevleka iz silicijevega karbida

Nosilna plošča iz silicijevega karbida Veteksemicon za jedkanje LED, posebej zasnovana za proizvodnjo čipov LED, je osnovni potrošni material v procesu jedkanja. Izdelan iz natančno sintranega silicijevega karbida visoke čistosti nudi izjemno kemično odpornost in visokotemperaturno dimenzijsko stabilnost ter se učinkovito upira koroziji zaradi močnih kislin, baz in plazme. Njegove lastnosti nizke kontaminacije zagotavljajo visoke izkoristke za epitaksialne rezine LED, medtem ko njegova vzdržljivost, ki daleč presega vzdržljivost tradicionalnih materialov, strankam pomaga zmanjšati skupne operativne stroške, zaradi česar je zanesljiva izbira za izboljšanje učinkovitosti in doslednosti postopka jedkanja.

Fokusni obroč iz trdnega SiC Veteksemi bistveno izboljša enakomernost jedkanja in stabilnost postopka z natančnim nadzorom električnega polja in zračnega toka na robu rezine. Široko se uporablja v postopkih natančnega jedkanja silicija, dielektrikov in sestavljenih polprevodniških materialov ter je ključna komponenta za zagotavljanje donosa množične proizvodnje in dolgoročnega zanesljivega delovanja opreme.

Grafitna glava za tuširanje CVD SiC iz Venekkemican je visokozmogljiva komponenta, ki je posebej zasnovana za postopke polprevodniškega kemičnega odlaganja hlapov (CVD). Izdelana iz grafita visoke čistosti in zaščitena s kemičnim nanašanjem hlapov (CVD) silicijevega karbida (SIC), ta glava tuširanja zagotavlja izjemno vzdržljivost, toplotno stabilnost in odpornost na korozivne procesne pline. Veselimo se vašega nadaljnjega posvetovanja.

Držalo za silicijeve rezine za silicijeve rezine Veekemican je zasnovano za natančnost in delovanje v naprednih polprevodniških procesih, kot so MOCVD, LPCVD in visoko temperaturno žarjenje. Z enakomerno prevleko s CVD sic to držalo rezin zagotavlja izjemno toplotno prevodnost, kemično inertnost in mehansko trdnost-bistveno za kontaminacijo, visoko donosno obdelavo rezin.

VETEKSMICON High-Waty SIC Edgen obroče, posebej zasnovane za opremo za polprevodniško jedkanje, odlikujejo izjemno korozijsko odpornost in toplotno stabilnost, kar bistveno povečajo donos rezin

Kot vodilni kitajski proizvajalec in dobavitelj izdelkov za silicijevo karbidno prevleko ima nosilec rezin, prevlečenih s sic, za jedkanje, v procesu jedkanja z njegovo odlično visoko temperaturno stabilnostjo, izjemno korozijsko odpornostjo in visoko toplotno prevodnostjo.