Vakuumska peč za vroče stiskanje s silicijevim karbidom

Tehnologija povezovanja semen SiC je eden ključnih procesov, ki vplivajorast kristalov.VETEK je razvil specializiranovakuumska peč za vroče stiskanjeza vezavo semen na podlagi značilnosti tega postopka. Peč lahko učinkovito zmanjša različne napake, ki nastanejo med postopkom vezave semena, s čimer se izboljša izkoristek in končna kakovost kristalnega ingota.

Predstavite

1. Peč se uporablja za vezavo semen predRast kristalov SiC

2. Vezano seme lahko ostane trdno pritrjeno pri temperaturi 2300 ℃, ohranja 100 % oprijem brez zračnih mehurčkov, z visoko ravnostjo, čisto površino semena in brez adsorbiranih nečistoč

3. Ogrevana plošča je sprejeta z upornim segrevanjem spiralne ploščaste oblike, enotnega ogrevalnega območja, je varna za uporabo, enostavna za uporabo

4. Dno nosilne plošče je opremljeno s senzorji sile, tlačna sila na obdelovancu mora biti natančno prikazana 

Predstavitev funkcije

1. Vodno hlajena kovinska komora z dvojno steno učinkovito zmanjša temperaturo zunanje površine telesa peči, zmanjša škodo zaradi visokih temperatur in zmanjša vpliv na okolje.

2. Lahko doseže samodejno povečanje tlačne sile in zadrževanja sile, počasno nakladalno silo in premik je mogoče samodejno nadzorovati.

3. Na voljo so raznolike konfiguracije vakuuma, glede na postopek pa je mogoče izbrati različne ravni vakuuma.

4. Enakomerna natančnost nadzora tlaka in visoke temperature.

5. Struktura tlačne sile ima natančen mehanski potisni dizajn, ki zagotavlja natančno in stabilno tlačno silo, varno uporabo in prijaznost do okolja.

6. Žig navzdol je povezan s potisno palico na "univerzalni" način. Ko je obdelovanec potlačen, je zagotovljeno, da je površina spodnjega žiga pod prilagodljivo vzporednico s površino ogrevane plošče, kar zagotavlja, da obdelovanec nosi enakomerno tlačno silo.

7. Vzdolžni žig ima funkcijo blažitve obremenitve tlačne sile, ki zagotavlja gladko in mehko tlačno silo brez udarcev, s čimer preprečuje pokanje obdelovanca.

9.Ogrevana oblika plošče in žig za tlačno silo sta opremljena s toplotnoizolacijskim ščitom za zmanjšanje neučinkovite izgube temperature.

Parameter

Funkcija

1. Počasno vakuumsko črpanje, nastavljiva stopnja vakuumskega črpanja

2.Velika komora, velik prostor za nadgradnjo

3. Žig navzdol deluje stabilno in deluje samodejno

4. Počasno razbremenitev in počasno povečevanje potisne sile, samodejno krmiljenje potisne sile v skladu z receptom

5. Natančno programirano krmiljenje temperature in tlačne sile

6. Parametre vakuuma, tlačne sile in temperature je mogoče prosto nastaviti, da se ujemajo z različnimi postopki lepljenja

7. Spoj je stisnjen in brez mehurčkov

8. Stopnja razpok je izredno nizka, saj skoraj ni razpok, ki bi jih povzročile težave z opremo

9. Združljivo z vezavo semena 6-12 palcev

10. Maks. tlačna sila: 1,6 T

11. Končni vakuum: 5 Pa (hladno)

12. Enakomernost temperature ogrevane plošče: <±3 ℃, σ<4 (200 ℃)

13. Nihanje tlaka: <0,5%