Sic Edgen Ring

Na področju proizvodnje polprevodnikov sic obročki, kot jedro sestavnih delov opreme za predelavo rezin, revolucionirajo industrijsko pokrajino s svojimi materialnimi lastnostmi. Vrednost te natančne komponente, narejena iz enojnih kristalov Silicijevega karbida, ni le v njegovi visokotehnološki vsebnosti, ampak tudi v pomembnem izboljšanju donosa in optimizacije obratovalnih stroškov, ki jih lahko prinese proizvajalcem čipov.

SiC Edge Ring Structural Characteristics

Obroči za silikonske karbide so ključne potrošne komponente v opremi za polprevodniško jedkanje in so izdelani iz visoko čistosti silicijevega karbidnega materiala, pripravljenih po metodi kemičnega nalaganja hlapov (CVD). Premer njegove obročaste strukture je običajno 200-450 mm, debelina pa je nadzorovana v 5-15 mm, ki vsebuje naslednje značilnosti:

1.Treme toleranca: zdrži visokotemperaturno okolje 1500 ℃

2. stabilnost plazme: dielektrična konstanta 9,7, razpadna napetost 3MV/cm

3. Geometrijska natančnost: Napaka okroglosti ≤0,05 mm, hrapavost površine RA <0,2 μm

Breakthrough in manufacturing process

The modern preparation process adopts a three-stage method:

1. Matrix forming: Isostatic pressing forming ensures uniform density

2. visokotemperaturno sintranje: Zdravljenje zgoščevanja v inertni atmosferi pri 2100 ℃

3. Sprememba površine: Nanoscale zaščitne plasti se tvorijo z reaktivnim ionskim jedkanjem (RIE). Najnovejše raziskave kažejo, da se življenjska doba ročnih obročev iz silicijevega karbida, dopirana s 3% bora, poveča za 40%, stopnja onesnaženja rezin

Scenariji prijave

It shows irreplaceability in processes below 5nm:

2. Etching uniformity: It can maintain an etching rate deviation of ±1.5% at the wafer edge

3. Pollution control: It reduces metal pollution by 92% compared with traditional quartz materials

4. Vzdrževalni cikel: v plazmi CF4/O2 lahko neprekinjeno deluje 1500 ur

Veteksemicon have achieved a breakthrough in the domestic production of sic edge rings, which can save a lot of cost expenditures. Welcome to contact us at any time!