TaC prevlečen grafitni pokrivni obroč

Osnovne tehnične prednosti

• Izjemna kemična odpornost: Zasnovan tako, da vzdrži močne pline za jedkanje (H₂, NH₃, HCl) pri temperaturah med 1200 °C in 2000 °C.

• Ujemanje toplotnega raztezanja: Naš lastniški postopek CVD zagotavlja, da ima prevleka TaC optimizirano ujemanje CTE (koeficient toplotnega raztezanja) z grafitno podlago, kar preprečuje luščenje ali razpoke med hitrim toplotnim ciklom.

• Vrhunski nadzor delcev: TaC plast s popolnim tesnjenjem poroznega grafita odpravi odvajanje delcev, kar neposredno poveča izkoristek rezin in skrajša čas izpada reaktorja.

• Podaljšana življenjska doba: Zelo odporna na obrabo površina, ki vzdrži ponavljajoče se cikle čiščenja in ponuja bistveno nižje stroške lastništva (CoO) v primerjavi z alternativami brez premaza ali prevleke s SiC.

Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu

Parameter izdelka TaC prevlečenega grafitnega pokrivnega obroča

Zakaj izbrati naše prekrivne obroče TaC?

Zavedamo se, da je pri izdelavi polprevodnikov zanesljivost enaka dobičkonosnosti. Naši pokrivni obročki iz grafitnih rezin s prevleko TaC so serijsko testirani glede gostote in čistosti prevleke. Ne glede na to, ali prehajate s 6-palčne na 8-palčne proizvodnje rezin ali optimizirate visokotemperaturni postopek MOCVD, naši obroči zagotavljajo toplotno in kemično zaščito, ki je potrebna za prvovrstno epitaksijo.